Услуга анализа остаточных газов на установке Гелиос–0611
Специалисты Лаборатории ВАКТРОН предлагают Вам воспользоваться услугой анализа состава и парциального давления газов в объеме вашей технологической установки или изделия.
Анализ остаточных газов рекомендуется проводить в случае:
- если характеристики наносимого покрытия или пленки отличаются от заданного
- в составе материала изделия недопустимо появление посторонних включений
- не удается достичь рабочего давления в вакуумной камере
- при восстановлении установок после длительного хранения
- при использовании масляных средств откачки для оценки их влияния на изделие
- при необходимости в реальном времени контролировать состав газов рабочего процесса.
Анализ остаточных газов производится с помощью мобильной установки Гелиос–0611 производства ВАКТРОН, построенной на базе квадрупольного масс-спектрометра ULVAC QULEE.
Подготовленная в лаборатории Вактрон установка откалибрована по контрольным мерам потока газов, которые внесены в реестр средств измерений РФ.
Установка для анализа состава газов ВАКТРОН позволяет проводить контроль как в лабораторных, так и в производственных условиях с выездом на объект Заказчика, а также в для систем на открытой местности.
Основные задачи, которые выполняет установка ГЕЛИОС –0611:
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
- Контроль загрязнений (H2O и т.д.) в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
- Для проверки изделий и систем на герметичность
При эксплуатации вакуумных напылительных и плавильных установок необходимо не только знать состав газовой среды, в которой происходит исследуемый физический процесс, но и контролировать этот состав, тем более что этот состав непрерывно изменяется по мере увеличения разрежения.
Состав остаточных газов определяется характеристиками средств откачки, степенью чистоты поверхностей вакуумной камеры и введенных в нее конструкций, составом продуктов газовыделения или стационарной газовой нагрузки, герметичностью оболочки и другими факторами.
Анализируя состав остаточных газов, можно выделить основную причину отклонения состава газовой среды от требуемого, в том числе обнаружить нарушение герметичности вакуумной системы.
|
|
 |
Концентрация парциальных i-х компонентов системы молекул ni в вакуумной технике измеряется масс-спектрометрами.
Квадрупольный масс-спектрометр– это прибор, в котором ионы можно разделить в соответствии с величиной массового числа без применения магнитного поля. Анализатор такого рода состоит из четырех абсолютно прямых металлических стержней, расположенных строго параллельно на определенном расстоянии друг от друга так, чтобы пучок ионов мог двигаться непосредственно вдоль центральной оси.
На продольное движение ионов оказывает влияние поле квадрупольного конденсатора, вызывая их боковое смещение. При фиксированных значениях частоты и амплитуды переменного напряжения только у ионов с определенным значением Мi/q амплитуда колебаний в направлении, поперечном оси анализатора, не превышает расстояния между стержнями. Такие ионы (резонансные) за счет начальной скорости проходят через анализатор и на выходе из него регистрируются, попадая на коллектор ионов.
Амплитуда колебаний ионов других масс (нерезонансных) нарастает по мере их движения в анализаторе так, что эти ионы достигают стержней и нейтрализуются. Развертку по массовым числам можно осуществлять, изменяя величины постоянного напряжения U= и амплитуду радиочастотного напряжения U~ при их постоянном соотношении.
Обычно для высоковакуумных систем приблизительный вид масс-спектра и его компоненты известны. В этом случае по полученному масс-спектру легко определить качественный состав смеси остаточных газов, сравнивая присутствующие в спектре пики с таблицами. Отсутствие каких-либо пиков в спектре указывает на отсутствие в системе определенных газов.
Задача расшифровки масс-спектра состоит из двух подзадач:
1) по определению предположительного компонентного состава смеси газов;
2) по расчету парциальных давлений.
Просим Вас обращаться к специалистам ВАКТРОН для организации процесса исследований остаточных газов для Вашей задачи.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».