Емкостной мановакуумметр Ulvac G-Tran CCMT-D
Серия мановакуумметров Ulvac CCMT-D являются датчиками емкостного типа, работающими на основе преобразования величины электрической емкости, изменяющейся при деформации алюмо-керамической мембраны на величину абсолютного давления в условиях, отличных от атмосферного давления.
Датчики линейки G-TRAN ССMT-D находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Вакуумная металлургия и процессы термообработки под вакуумом
- Оборудование для нанесения пленок и покрытий
- Процессы по производству фотогальванических элементов и ЖК-панелей
- Лабораторное и промышленное оборудование с повышенными требованиями к точности измерения
Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN CCMT-D:
- Коррозионная стойкость материалов сенсора
- Высокая стабильность сигнала на протяжении срока службы прибора
- Величина измеряемого давления не зависит от типа и рода газа
- Быстрая готовность датчика к точным измерениям сразу после подачи питания
- Автоматическая температурная компенсация
- Функция автообнуления
- Высокая защищенность сенсора к загрязнениям
- Линейный выходной сигнал 0-10 В
- Компактные размеры и небольшой вес
Для заказа емкостного датчика, выберите тип подключения для процесса и диапазон измерений.
|
CCMT-1000D |
CCMT-100D |
CCMT-10D |
CCMT-1D |
Шкала измерений |
133000 Па 1х103 мм а 1,33х103 мбара |
13300 Па 1х102 мм рт. ст. 1,33х102 мбара |
1330 Па 10 мм рт. ст. 13,3 мбара |
133 Па 1 мм рт. ст. 1,33 мбара |
Наименьшая достоверная величина давления |
13 Па 9,75х10-2 мм рт. ст. 1,3х10-1 мбар |
1,3 Па 9,75х10-3 мм рт.ст. 1,3х10-2 мбар |
0,13 Па 9,75х10-4 мм рт.ст. 1,3х10-3 мбар |
1,3 х10-2 Па 9,75х10-5 мм рт.ст. 1,3х10-4 мбар |
Наименьшая рекомендуемая для измерения величина давления |
66,6 Па 5,0х10-1 мм рт. ст. 6,66х10-1 мбар |
6,7 Па 5,0х10-2 мм рт. ст. 6,66х10-2 мбар |
0,67 Па 5,0х10-3 мм рт. ст. 6,66х10-3 мбар |
6,7 х10-2 Па 5,0х10-4 мм рт. ст. 6,66х10-4 мбар |
Разрешающая способность |
0,003% от шкалы |
|||
Погрешность |
±0,2% от значения гистерезис, при выдержке в течении 2 часов при температуре окружающей среды 25 гр.Ц, без воздействия внешних температурных факторов |
|||
Температурная поправка:
|
|
|
||
Диапазон рабочих температур |
от 10 до 50 гр.Ц |
|||
Диапазон рабочих условий влажности |
От 10 до 50% (без выпадения конденсата) |
|||
Условия хранения |
От -40 до +65 гр.Ц |
|||
Макс. допустимая температура на фланце датчика |
100 гр.Ц |
|||
Время отклика |
Не более 30 мс |
|||
Макс. давление перегрузки |
4х105 Па, 3х103 мм рт. ст., 4х103 мбара |
2,6х105 Па, 1,9х103 мм рт. ст., 2,6х103 мбара |
||
Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами |
Al2O3, Vacon70 (18%Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69%Fe), SUS316 (28% Ni, 23% Co, 49% Fe) |
|||
Показатель защиты оболочки |
IP30 |
|||
Напряжение питания |
10-38 В ПТ (1Вт) |
|||
Тип вых. сигнала |
0-10 В линейный |
|||
Температурная компенсация |
Встроенная |
|||
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
|||
Масса |
329 гр. |
344 гр. |
365 гр. |
386 гр. |
Внутренний объем датчика |
5.8 см3 |
6 см3 |
6 см3 |
8.15 см3 |