Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1/SW1-2
Серия вакуумметров Ulvac SW1-1/SW1-2 являются датчиками Пирани с расширенным диапазоном измерения давлении от атмосферного до 5х10-2 Па. Датчики Пирани G-TRAN SW1 могут быть интегрированы в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым, датчики Пирани G-Tran SW1 могут помогут снизить издержки при сборке системы измерения вакуума.
Датчики линейки G-TRAN SW1-1/SW1-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SW1-1/SW1-2:
- Измерение давления от атмосферы до 5х10-2 Па (3,75х10-4 мм рт. ст., 5х10-4 мбар)
- Интеграция сенсора и контроллера в одном корпусе, что повышает надежность и расширяет возможности использования датчика
- Контроль состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых LED индикаторов на корпусе датчика
- Ручная настройка уровня сигнала на атмосферное давление и ноль-сигнала напряжения на корпусе прибора
- Сенсор может быть легко заменен при необходимости
- Компактные размеры и небольшой вес
- Логарифмический выходной сигнал 0-10 В
- Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня) для модели SW1-1
- Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели SH1-2
- СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза
Для датчика Пирани доступны две модификации SW1-1 и SW1-2.
При заказе выберите требуемый Вам тип подключения для процесса и необходимые функции для автоматизации процесса измерения давления.
Основные технические характеристики датчика Пирани SW1
|
|
SW1-1 |
SW1-2 |
|
|
Порт подключения |
NW16 |
||
|
Диапазон измерения |
5,0x10-2 – 10+5 Пa; (3,75x10-4 – 760 мм рт. ст.; 5,0х10-4 – 1013 мбар) |
||
|
Точность измерения*1 |
±10% в диапазоне: 1,0x10-2 – 10+4 Пa; (7,5x10-4 – 75 мм рт. ст.; 1,0х10-3 – 100 мбар) ±20% в диапазоне: 1,0x10+4 –10+5 Пa; (75 – 760 мм рт. ст.;100 – 1013 мбар) |
||
|
Точность повторения |
±2% в диапазоне: 1,0x10-2 – 10+4 Пa; (7,5x10-4 – 75 мм рт. ст.; 1,0х10-3 – 100 мбар) |
||
|
Скважность измерения |
5 раз каждые 50 миллисекунд |
||
|
Тип выходного сигнала |
Линейный 0-10 В или логарифмический 1 В на декаду в интервале от 1,7 до 8 В |
||
|
Период обновления данных |
каждые 50 миллисекунд |
||
|
Дискретные входные сигналы |
|
- |
|
|
Дискретные выходные сигналы |
|
- |
|
|
Протокол передачи данных |
- |
RS232C/RS485 |
|
|
Светосигнальная индикация на корпусе датчика |
|
|
|
|
Материал катода |
Pt |
||
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 гр.Ц. |
||
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
||
|
Показатель защиты оболочки |
IP30 |
||
|
Напряжение питания |
18-30 В ПТ 2Вт (4,8Вт) |
||
|
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
||
|
Совместимые контролеры |
Все контролеры сери G-TRAN ISG1/IM1R1/IM2R1 |
||
|
Масса |
150 гр. |
||
|
Габариты, мм |
  |
||
*1- после калибровки уставок нулевого напряжения и атмосферы.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».