Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1

В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.

Датчик Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10^-3 мм рт. ст. и 3 до 4х10^-3 мбара, соответственно).

Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SP1:

• Возможность применения преобразователя в системах управления без использования специальных контроллеров или индикаторов
• Сенсор может быть легко заменен при необходимости
• Доступны преобразователи с четырьмя различными типами подключения к процессу
• Платиновый катод обеспечивает высокую коррозионную стойкость и надежность при прорывах атмосферы
• Напряжение питания 24 В ПТ
• Верификация состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых LED индикаторов на корпусе датчика
• Компактные размеры и небольшой вес
• Нелинейный выходной сигнал 0-5 В
• Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)

Основные технические характеристики комплекта для датчика Пирани SP1

	Комплект датчика Пирани SP1
Порт подключения
Диапазон измерения	4,0x10-1 – 3,0х10+3 Пa; 3,0x10-3 – 22 мм рт. ст. 4,0x10-3 – 3 мбара
Точность измерения*1	±15% в диапазоне: 5,1–760 Пa; (3,75x10-1 – 5,7 мм рт. ст.; 5,1х10-1 – 7,6 мбар) ±30% в диапазоне: 10 – 1000 Пa; (7,5x10-2  – 7,5 мм рт. ст.;0,1 – 10 мбар) ±50% в диапазоне: 0,4 – 3000 Пa; (3x10-3 – 22 мм рт. ст.; 4х10-3 – 3 мбар)
Тип выходного сигнала	нелинейный 0-5 В
Скважность измерения	5 раз каждые 50 миллисекунд
Период обновления данных измерения	каждые 50 миллисекунд
Разрешающая способность	1 милливольт
Дискретные входные сигналы	ОШИБКА Уставка сигнала по уровню 1-2 Вход с открытым коллектором Ивертированная логика
Индикаторы на корпусе	ПИТАНИЕ ОШИБКА Уставка сигнала по уровню 1-2
Материал катода	Pt
Диапазон рабочих температур	От 10 до 40 гр.Ц.
Диапазон рабочих условий влажности	От 15 до 80 % (без выпадения конденсата)
Напряжение питания	24 В ПТ ± 2 В, 90 mAмах
Тип коннектора	D-sub 15ти-пиновый
Масса	159 гр (датчик)
Габариты, мм