Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1
В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.
Датчик Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10-3 мм рт. ст. и 3 до 4х10-3 мбара, соответственно).
Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SP1:
- Возможность применения преобразователя в системах управления без использования специальных контроллеров или индикаторов
- Сенсор может быть легко заменен при необходимости
- Доступны преобразователи с четырьмя различными типами подключения к процессу
- Платиновый катод обеспечивает высокую коррозионную стойкость и надежность при прорывах атмосферы
- Напряжение питания 24 В ПТ
- Верификация состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых LED индикаторов на корпусе датчика
- Компактные размеры и небольшой вес
- Нелинейный выходной сигнал 0-5 В
- Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)
Основные технические характеристики комплекта для датчика Пирани SP1
|
Комплект датчика Пирани SP1 |
||
Порт подключения |
|
||
Диапазон измерения |
4,0x10-1 – 3,0х10+3 Пa; 3,0x10-3 – 22 мм рт. ст. 4,0x10-3 – 3 мбара |
||
Точность измерения*1 |
±15% в диапазоне: 5,1–760 Пa; (3,75x10-1 – 5,7 мм рт. ст.; 5,1х10-1 – 7,6 мбар) ±30% в диапазоне: 10 – 1000 Пa; (7,5x10-2 – 7,5 мм рт. ст.;0,1 – 10 мбар) ±50% в диапазоне: 0,4 – 3000 Пa; (3x10-3 – 22 мм рт. ст.; 4х10-3 – 3 мбар) |
||
Тип выходного сигнала |
нелинейный 0-5 В |
||
Скважность измерения |
5 раз каждые 50 миллисекунд |
||
Период обновления данных измерения |
каждые 50 миллисекунд |
||
Разрешающая способность |
1 милливольт |
||
Дискретные входные сигналы |
|
||
Индикаторы на корпусе |
|
||
Материал катода |
Pt |
||
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 гр.Ц. |
||
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
||
Напряжение питания |
24 В ПТ ± 2 В, 90 mAмах |
||
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
||
Масса |
159 гр (датчик) |
||
Габариты, мм |
![]() |