Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2
Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).
Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.
Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.
Датчики линейки Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектронных элементов
- Производство ЖК-панелей
- Производство полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума
Основные преимущества датчиков линейки G-TRAN SH2-1/SH2-2:
- Возможность измерения в широком диапазоне: от атмосферного давления до глубокого вакуума:
- Мульти-ионизационный датчик (запатентован) переключается между измерительными головками, в зависимости от диапазона измерений.
- Точное измерение атмосферного давления, при эксплуатации совместно с деформационным датчиком давления блоком SAU
- Снижение издержек при эксплуатации. При выходе из строя какого-либо измерительного блока потребуется заменить только сломавшийся модуль.
- Проверка состояния датчика с помощью ярких, хорошо читаемых светодиодных индикаторов на корпусе датчика
- Простая процедура замены датчика
- Выходной сигнал от датчика измерения 0-10 В – как линейный так, и логарифмический
- Возможность программирования дискретных уставок (3 уровня) для модели SH2-1
- Возможность коммуникации по протоколу обмена данных RS232C/RS485 для модели SH2-2
- СЕ маркировка изделия о соответствии основным требованиям директив ЕС и гармонизированным стандартам Европейского Союза
При заказе мульти-ионизационного датчика, в зависимости от желаемого диапазона измерения, предусмотрены варианты поставки используя комбинации из одного, двух или трех измерительных блоков, включая датчик Пирани SPU, и деформационного датчика SAU.
Основные технические характеристики мульти-ионизационного датчика SH2
|
|
SH2-1 |
SH2-2 |
||
|
Порт подключения |
NW16 – код заказа M34 NW25 – код заказа M35 UFC070 – код заказа M36 |
|||
|
Скважность измерения |
4 раза каждые 70 миллисекунды |
|||
|
Тип выходного сигнала |
Линейный 0-10 В или логарифмический 0,75 В на декаду, где формула пересчета V= 7.25+0.75*(logP-2) |
|||
|
Период обновления данных измерения |
каждые 50 миллисекунд |
|||
|
Дискретные входные сигналы |
- |
|||
|
Дискретные выходные сигналы |
|
- |
||
|
Протокол передачи данных |
- |
RS232C/RS485 |
||
|
Светосигнальная индикация на корпусе датчика |
|
|||
|
Ток эмиссии |
1 мА в диапазоне давлений ниже 1х10-3 Па; 1 µА |
|||
|
Дегазация |
Бомбардировка электронами 1 мА-350V |
|||
|
Максимальное давление перегрузки |
2 атма (2х105 Па, 1,5х103 мм рт. ст., 2х103 мбара) *-ограничено максимальным допустимым давлением фланцевого соединения с накидным хомутом |
|||
|
Внутренний объем датчика |
34 см3 |
|||
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 50 гр.Ц. |
|||
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
|||
|
Условия хранения |
От -20 до +65 гр. Ц, без выпадения конденсата, без подачи напряжения |
|||
|
Показатель защиты оболочки |
IP30 |
|||
|
Напряжение питания |
20-28 В ПТ (пульсации на выходе менее 1%) 19 Вт (без учета потребления датчика) |
|||
|
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
|||
|
Используемые материалы, контактирующие с откачиваемыми газами |
Ионизационный датчик SH2-1/SH2-2:
Деформационный датчик SAU:
|
|||
|
Совместимые контролеры |
Все контролеры серии Ulvac G-TRAN ISG1/IM1R1/IM2R1 |
|||
|
Длина кабеля |
Между датчиками – 0,5 м, 1 м, 2 м. Между датчиком и контроллером – 2 м, 5 м, 10 м, 15 м. |
|||
|
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2
|
±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10+1 Пa; (3,75x10-10 – 7,6х10-2 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 0,1 мбар) |
|||
|
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2+SPU
|
±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар) ±30% в диапазоне: 1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.;10 – 30 мбар) Индикативно: 3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар) |
|||
|
Точность и диапазон измерения SH2-1/SH2-2+SPU+SAU
|
±15% в диапазоне: 5,0x10-8 – 10-3 Пa; (3,75x10-10 – 7,5 мм рт. ст.; 5,0х10-10 – 10 мбар) ±30% в диапазоне: 1,0x10-3 – 3,0х10+3 Пa; (7,5 – 22,5 мм рт. ст.; 10 – 30 мбар) Индикативно: 3,0х10+3 – 1,0х10+4 Пa; (22,5 – 75 мм рт. ст.; 30 – 100 мбар) 3% от шкалы: 1,0х10+4 – 1,0х10+5 Пa; (75 – 760 мм рт. ст.; 100 – 1013 мбар) |
|||
|
Точность повторения |
±2% в диапазоне: 1х10-6 – 1х10-1 Па; (7,6x10-9 – 7,6х10-4 мм рт. ст.; 1x10-8 – 1х10-3 мбар) |
|||
|
Масса |
530 гр (масса измерительной головки без электроники 63 гр) |
|||
|
Габариты, мм |
 |
|||
Данные приведены исходя из: температура +25 гр.Ц. на давлении 3,0х10+3 Па/23 мм рт. ст./30 мбар.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».