Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1
Датчик абсолютного давления магнетронного типа с холодным катодом Ulvac G-Tran SC1 – надежное и точное измерение вакуума. Благодаря отсутствию катода накаливания, датчики Ulvac G-Tran SC1 просты в эксплуатации и обладают длительным сроком службы.
Датчики линейки Ulvac G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:
- Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.
Основные преимущества датчиков линейки Ulvac G-TRAN SС1:
- Возможность применения преобразователя в системах управления без использования специальных контроллеров или индикаторов
- Сенсор может быть легко заменен при необходимости
- Высокая надежность при прорывах атмосферы
- Напряжение питания 24 В ПТ
- Нелинейный выходной сигнал 0-10 В
- Возможность программирования дискретных уставок (2 уровня)
- Доступны преобразователи с четырьмя различными типами подключения к процессу
Основные технические характеристики комплекта для датчика давления SС1
|
Вакуумметр высоковакуумный SС1 |
|
Диапазон измерения |
1.0×10-5 до 1.0 Пa 7.5×10-8 до 7.5×10-3 мм рт. ст.; 1.0×10-7 до 1.0×10-2 мбар |
|
Точность измерения*1 |
100% от значения — 50% от диапазона |
|
Тип выходного сигнала |
нелинейный 0-10 В |
|
Дискретные входные сигналы |
|
|
Дискретные выходные сигналы |
|
|
Индикаторы на корпусе |
|
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 гр.Ц. |
|
Диапазон рабочих условий влажности |
От 15 до 80 % (без выпадения конденсата) |
|
Напряжение питания |
24 В ПТ ± 2 В, 90 мА макс |
|
Тип коннектора |
D-sub 15ти-пиновый |
|
Масса |
430 гр (датчик) |
|
Габариты, мм |
![]() |