Турбомолекулярные насосы Ulvac

Компания Вактрон представляет вакуумные системы на основе турбомолекулярных насосов ULVAC. Турбомолекулярный насос (ТМН) представляет собой многоступенчатый осевой компрессор, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими наклонными вдоль радиуса лопатками. При вращении роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа из-за их различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях.

Насосы серии UTM являются турбомолекулярными насосами лопастного типа, на которых установлен опорный подшипник (снизу) и магнитный подвес (сверху). Благодаря снижению механического контакта за счет использования магнитного подвеса уменьшается вибрация и повышается степень сжатия. Это увеличивает эффективность и срок службы насоса.

Компания Вактрон использует насосы для создания высоковакуумных систем проверки герметичности изделий. Насосы малых габаритом UTM-50 хорошо проявили себя в работе в составе течеискателей, где особо важно с высокой скоростью откачивать инертные газы (гелий, водород). Насосы превосходят отечественные аналоги, в частности, по уровню вибраций, что важно для высокочувствительного оборудования.

 

Модель

UTM-50

UTM-150

UTM-300

UTM-500

НАСОС

Тип фланца

Вход

VG65

CF63

VG100

CF100

VG100

CF100

VG150

CF160

Выход

NW16

NW25

NW40

Быстрота откачки

л/с

N2

50

190

300

550

H2

40

160

260

500

Предельное давление

Па

10-7

10-8

Торр

10-9

10-10

мбар

10-9

10-10

Макс. степень сжатия

N2

108

H2

103

104

105

Макс. давление на входе

Па

0,13

Торр

9,7 10-4

мбар

1,3 10-3

Макс. давление на выходе

Па

13

Торр

9,7 10-2

мбар

1,3 10-1

Скорость вращения

Об/мин

90 000

72 000

54 000

40 200

Время разгона/ время торможения

мин

~2/3

~3/4

~4/7

~8/8

Подшипники

Сверху

Магнитный подвес

Снизу

Опорный подшипник

Охлаждение

Водяное или воздушное охлаждение

Порт водяного охлаждения

Rc1/4

Расход

л/мин

0,5

Масса

кг

3

6

10

16

Рекомендуемая производительность форнасоса

м3/ч

3

6

12

18

л/мин

50

100

200

300

Источник питания

Потребляемая мощность

кВА

0,34

0,59

0,56

0,89

Входное напряжение

ACV

100 до 240

Частота питающего напряжения

Гц

50/60

Фаза

Одна

Температура

С

0-40

Масса

кг

2.2

3.9

4.5

Габаритные размеры турбомолекулярных насосов и контроллеров

Модель	Входной порт	φD1	φD2	φD3	L1	L2	L3
UTM-50	VG65	145	79	100	186	166	110
	ICF114	114	76	100	186	166	110
UTM-150	VG100	185	130	110	230	210	157
	ICF152	152	130	110	230	210	157
UTM-300	VG100	185	168	140	266	246	205
	ICF152	152	168	140	266	246	205
UTM-500	VG235	235	224	159	308	288	235
	ICF203	203	224	159	313	293	240

UTM-50

UTM-150

UTM-300

UTM-500

Компания Вактрон также готова предложить разработку вакуумных постов и откачных систем на основе указанных турбомолекулярных насосов.

Турбомолекулярные насосы ULVAC серии UTM-FH (водород) и UTM-FW (тяжелые газы)

ТМН серий UTM-FH и UTM-FW – это высокопроизводительные гибридные насосы с магнитным подвесом ротора. Магнитный подшипник имеет цифровую систему контроля состояния.

Насосы UTM-FH обладают увеличенным коэффициентом компрессии по водороду и предназначены для откачки легких газов и компонентов воздуха. Насосы UTM-FW – ТМН для откачки широкого диапазона газов в условиях больших газовых потоков.

Особенности

• Большой диапазон производительности – от 350 до 6300 л/с.
• Стабильная производительность в условиях нестабильной фор-откачки (FH серия).
• Внутренняя система нагрева турбомолекулярного насоса и контроля температуры ротора для уменьшения адгезии побочных продуктов реакции (серия FW, опция).
• Анти-коррозионная обработка поверхности (исключая 3303FH и 6300FH). Опционально, специальные поверхностные покрытия.
• Работа в любом положении.
• Система контроля скорости вращения позволяет изменять скорость откачки в диапазоне от 25% до 100%.
• Система рекуперации электроэнергии используется для работы при кратковременном отключении питания.
• Встроенные датчики диагностики и связи позволяют настроить централизованную систему управления.
• Устойчивая конструкция к аварийному нарушению рабочих режимов.

Модель	Охлаждение	Входной фланец	Выходной фланец	L1	L2	L3	L4	L5	φD1	φD2	Тип
UTM-350FH/UTM-350FW	вода	VG100	NW25	269	211	12	112.5	－－	185	185	B
		ICF152		276	218	21	112.5	－－	152	185	B
	воздух	VG100		269	211	12	112.5	138	185	185	D
		ICF152		276	218	21	112.5	138	152	185	D
UTM-480FH/UTM-480FW	вода	VG150	NW25	234	176	12	112.5	－－	235	185	A
		ICF203		234	176	22	112.5	－－	203	185	A
	воздух	VG150		234	176	12	112.5	138	235	185	C
		ICF203		234	176	22	112.5	138	203	185	C
UTM-800FH/UTM-800FW	вода	VG150	NW40	310	241	12	143	－－	235	208	B
		ICF203		324	255	22	143	－－	203	208	B
	воздух	VG150		310	241	12	143	157	235	208	D
		ICF203		324	255	22	143	157	203	208	D
UTM-1001FH/UTM-1001FW	вода	VG200	NW40	278	209	16	143	－－	300	208	A
		ICF253		278	209	25	143	－－	253	208	A
	воздух	VG200		278	209	16	143	157	300	208	C
		ICF253		278	209	25	143	157	253	208	C
UTM-1400FW	вода	VG250	NW40	300	229	16	158	－－	350	238	A
		VG200		300	229	16	158	－－	300	238	A
		ICF253		331	260	25	158	－－	253	238	B
UTM-2300FW	воздух	VG300	NW40	340	268	20	182	－－	400	265	A
		VG250		375	303	16	182	－－	350	265	B
		ICF305		395	323	28	182	－－	305	265	B
UTM-3301FW	вода	VG350	NW40	376	297	20	193	－－	450	318	A
UTM-3303FH	вода	VG350	NW40	369	297	20	193	－－	450	308	E
UTM-6300FH	вода	VG500	NW40	414	327	22	240	－－	625	414	E

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию

Заполните, пожалуйста, все поля формы корректно.

1. Имя
   Пожалуйста, введите Ваше имя.
2. Сообщение
   Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
3. E-mail*
   Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
4. Телефон для связи
   Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
5. Организация*
   Введите название организации
6. Подтверждение*
   всё верноПоставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".