Турбомолекулярные насосы Ulvac
Компания Вактрон представляет вакуумные системы на основе турбомолекулярных насосов ULVAC. Турбомолекулярный насос (ТМН) представляет собой многоступенчатый осевой компрессор, роторные и статорные ступени которого снабжены плоскими наклонными вдоль радиуса лопатками. При вращении роторных ступеней с высокой скоростью происходит откачка молекул газа из-за их различной вероятности перехода через наклонные каналы ступеней в прямом и обратном направлениях.
Насосы серии UTM являются турбомолекулярными насосами лопастного типа, на которых установлен опорный подшипник (снизу) и магнитный подвес (сверху). Благодаря снижению механического контакта за счет использования магнитного подвеса уменьшается вибрация и повышается степень сжатия. Это увеличивает эффективность и срок службы насоса.
Компания Вактрон использует насосы для создания высоковакуумных систем проверки герметичности изделий. Насосы малых габаритом UTM-50 хорошо проявили себя в работе в составе течеискателей, где особо важно с высокой скоростью откачивать инертные газы (гелий, водород). Насосы превосходят отечественные аналоги, в частности, по уровню вибраций, что важно для высокочувствительного оборудования.
Модель |
UTM-50 |
UTM-150 |
UTM-300 |
UTM-500 |
||||||||||||||||
НАСОС |
Тип фланца |
Вход |
VG65 |
CF63 |
VG100 |
CF100 |
VG100 |
CF100 |
VG150 |
CF160 |
||||||||||
Выход |
NW16 |
NW25 |
NW40 |
|||||||||||||||||
Быстрота откачки |
л/с |
N2 |
50 |
190 |
300 |
550 |
||||||||||||||
H2 |
40 |
160 |
260 |
500 |
||||||||||||||||
Предельное давление |
Па |
10-7 |
10-8 |
|||||||||||||||||
Торр |
10-9 |
10-10 |
||||||||||||||||||
мбар |
10-9 |
10-10 |
||||||||||||||||||
Макс. степень сжатия |
N2 |
108 |
||||||||||||||||||
H2 |
103 |
104 |
105 |
|||||||||||||||||
Макс. давление на входе |
Па |
0,13 |
||||||||||||||||||
Торр |
9,7 10-4 |
|||||||||||||||||||
мбар |
1,3 10-3 |
|||||||||||||||||||
Макс. давление на выходе |
Па |
13 |
||||||||||||||||||
Торр |
9,7 10-2 |
|||||||||||||||||||
мбар |
1,3 10-1 |
|||||||||||||||||||
Скорость вращения |
Об/мин |
90 000 |
72 000 |
54 000 |
40 200 |
|||||||||||||||
Время разгона/ время торможения |
мин |
~2/3 |
~3/4 |
~4/7 |
~8/8 |
|||||||||||||||
Подшипники |
Сверху |
Магнитный подвес |
||||||||||||||||||
Снизу |
Опорный подшипник |
|||||||||||||||||||
Охлаждение |
Водяное или воздушное охлаждение |
|||||||||||||||||||
Порт водяного охлаждения |
Rc1/4 |
|||||||||||||||||||
Расход |
л/мин |
0,5 |
||||||||||||||||||
Масса |
кг |
3 |
6 |
10 |
16 |
|||||||||||||||
Рекомендуемая производительность форнасоса |
м3/ч
|
3 |
6 |
12 |
18 |
|||||||||||||||
л/мин |
50 |
100 |
200 |
300 |
||||||||||||||||
Источник питания |
Потребляемая мощность |
кВА |
0,34 |
0,59 |
0,56 |
0,89 |
||||||||||||||
Входное напряжение |
ACV |
100 до 240 |
||||||||||||||||||
Частота питающего напряжения |
Гц |
50/60 |
||||||||||||||||||
Фаза |
Одна |
|||||||||||||||||||
Температура |
С |
0-40 |
||||||||||||||||||
Масса |
кг |
2.2 |
3.9 |
4.5 |
Габаритные размеры турбомолекулярных насосов и контроллеров
Модель |
Входной порт |
φD1 |
φD2 |
φD3 |
L1 |
L2 |
L3 |
UTM-50 |
VG65 |
145 |
79 |
100 |
186 |
166 |
110 |
ICF114 |
114 |
76 |
100 |
186 |
166 |
110 |
|
UTM-150 |
VG100 |
185 |
130 |
110 |
230 |
210 |
157 |
ICF152 |
152 |
130 |
110 |
230 |
210 |
157 |
|
UTM-300 |
VG100 |
185 |
168 |
140 |
266 |
246 |
205 |
ICF152 |
152 |
168 |
140 |
266 |
246 |
205 |
|
UTM-500 |
VG235 |
235 |
224 |
159 |
308 |
288 |
235 |
ICF203 |
203 |
224 |
159 |
313 |
293 |
240 |
UTM-50 |
![]() |
UTM-150 |
![]() |
UTM-300 |
![]() |
UTM-500 |
![]() |
Компания Вактрон также готова предложить разработку вакуумных постов и откачных систем на основе указанных турбомолекулярных насосов.
Турбомолекулярные насосы ULVAC серии UTM-FH (водород) и UTM-FW (тяжелые газы)
ТМН серий UTM-FH и UTM-FW – это высокопроизводительные гибридные насосы с магнитным подвесом ротора. Магнитный подшипник имеет цифровую систему контроля состояния.
Насосы UTM-FH обладают увеличенным коэффициентом компрессии по водороду и предназначены для откачки легких газов и компонентов воздуха. Насосы UTM-FW – ТМН для откачки широкого диапазона газов в условиях больших газовых потоков.
Особенности
- Большой диапазон производительности – от 350 до 6300 л/с.
- Стабильная производительность в условиях нестабильной фор-откачки (FH серия).
- Внутренняя система нагрева турбомолекулярного насоса и контроля температуры ротора для уменьшения адгезии побочных продуктов реакции (серия FW, опция).
- Анти-коррозионная обработка поверхности (исключая 3303FH и 6300FH). Опционально, специальные поверхностные покрытия.
- Работа в любом положении.
- Система контроля скорости вращения позволяет изменять скорость откачки в диапазоне от 25% до 100%.
- Система рекуперации электроэнергии используется для работы при кратковременном отключении питания.
- Встроенные датчики диагностики и связи позволяют настроить централизованную систему управления.
- Устойчивая конструкция к аварийному нарушению рабочих режимов.
Модель |
Охлаждение |
Входной фланец |
Выходной фланец |
L1 |
L2 |
L3 |
L4 |
L5 |
φD1 |
φD2 |
Тип |
UTM-350FH/UTM-350FW |
вода |
VG100 |
NW25 |
269 |
211 |
12 |
112.5 |
-- |
185 |
185 |
B |
ICF152 |
276 |
218 |
21 |
112.5 |
-- |
152 |
185 |
B |
|||
воздух |
VG100 |
269 |
211 |
12 |
112.5 |
138 |
185 |
185 |
D |
||
ICF152 |
276 |
218 |
21 |
112.5 |
138 |
152 |
185 |
D |
|||
UTM-480FH/UTM-480FW |
вода |
VG150 |
NW25 |
234 |
176 |
12 |
112.5 |
-- |
235 |
185 |
A |
ICF203 |
234 |
176 |
22 |
112.5 |
-- |
203 |
185 |
A |
|||
воздух |
VG150 |
234 |
176 |
12 |
112.5 |
138 |
235 |
185 |
C |
||
ICF203 |
234 |
176 |
22 |
112.5 |
138 |
203 |
185 |
C |
|||
UTM-800FH/UTM-800FW |
вода |
VG150 |
NW40 |
310 |
241 |
12 |
143 |
-- |
235 |
208 |
B |
ICF203 |
324 |
255 |
22 |
143 |
-- |
203 |
208 |
B |
|||
воздух |
VG150 |
310 |
241 |
12 |
143 |
157 |
235 |
208 |
D |
||
ICF203 |
324 |
255 |
22 |
143 |
157 |
203 |
208 |
D |
|||
UTM-1001FH/UTM-1001FW |
вода |
VG200 |
NW40 |
278 |
209 |
16 |
143 |
-- |
300 |
208 |
A |
ICF253 |
278 |
209 |
25 |
143 |
-- |
253 |
208 |
A |
|||
воздух |
VG200 |
278 |
209 |
16 |
143 |
157 |
300 |
208 |
C |
||
ICF253 |
278 |
209 |
25 |
143 |
157 |
253 |
208 |
C |
|||
UTM-1400FW |
вода |
VG250 |
NW40 |
300 |
229 |
16 |
158 |
-- |
350 |
238 |
A |
VG200 |
300 |
229 |
16 |
158 |
-- |
300 |
238 |
A |
|||
ICF253 |
331 |
260 |
25 |
158 |
-- |
253 |
238 |
B |
|||
UTM-2300FW |
воздух |
VG300 |
NW40 |
340 |
268 |
20 |
182 |
-- |
400 |
265 |
A |
VG250 |
375 |
303 |
16 |
182 |
-- |
350 |
265 |
B |
|||
ICF305 |
395 |
323 |
28 |
182 |
-- |
305 |
265 |
B |
|||
UTM-3301FW |
вода |
VG350 |
NW40 |
376 |
297 |
20 |
193 |
-- |
450 |
318 |
A |
UTM-3303FH |
вода |
VG350 |
NW40 |
369 |
297 |
20 |
193 |
-- |
450 |
308 |
E |
UTM-6300FH |
вода |
VG500 |
NW40 |
414 |
327 |
22 |
240 |
-- |
625 |
414 |
E |