Ulvac LR, HR, UR — сухие безмасляные вакуумные насосы Рутса
Серия сухих безмасляных насосов LR, HR и UR производства компании ULVAC разработана для создания форвакуума в тяжелых условиях эксплуатации и для использования в качестве форвакуумных для турбомолекулярных и бустерных механических насосов. Уникальными особенностями насосов данной серии являются конструктивные решения деталей камеры сжатия, обеспечивающие высокую эффективность отвода тепла от тела насоса и равномерное распределения высокой температуры деталей вдоль всего механизма сжатия.
Данный тип насоса является механически безмасляным насосом в промышленном исполнении. Насос является гибридным насосом Рутса. Вдоль пути сжатия газа последовательно располагаются четыре ступени трехлопастных насосов и ступень Рутса, обеспечивающее требуемое понижение давление и высокую компрессию. Схематично данный насос можно представить в виде пяти последовательно соединенных мини-вакуумных насосов, собранных в одном корпусе.
Насос отличает высокая теплоотдача с корпуса насоса, позволяющая эксплуатировать его в нагруженных режимах без перегрева. Насос не требует водяного охлаждения и отличается высокой способностью к откачке паров воды.
Насосы серии LR, HR и UR являются оптимальным оборудованием для применения в таких процессах, как производство полупроводников, процессы травления и молекулярной эпитаксии, газовых процессов с образованием порошковых продуктов, например, печи для роста кремниевых кристаллов.
- Серии LR разработана для работы на откачке шлюзовых и рабочих вакуумных камер при невысоких температурах на процессах осаждения из паровой фазы.
- Серия HR разработана для применения в процессах травления и молекулярной эпитаксии на повышенных температурах. Специально для данной серии насосов компания ULVAC использует для изготовления деталей насосов особый алюминиевый сплав для чрезвычайно равномерного распределения температуры по всему телу насоса.
- Серия UR разработана для процессов, требующих дополнительного нагрева насоса, газовых линий и/или откачки из нагретых линий отвода газа.
Всю линейку насосов отличает превосходная коррозионная стойкость, высокая производительность при откачке гелия и инертных газов, и исполнение с двигателем в герметичном кожухе, что позволяет использовать насосы в опасных производствах.
Внутренние поверхности деталей насоса обработаны специальным образом для придания высокой твердости поверхности и коррозионной стойкости. Это делает насосы незаменимыми при эксплуатации в среде коррозионных газов.
На корпусе насоса размещена панель управления с индикацией основных предупреждение и аварийных сообщений. Также предусмотрена возможность подключения промышленных интерфейсов последовательной передачи данных с возможностью удаленного мониторинга и управления насосами).
Технические характеристики насосов Ulvac LR, HR и UR
Насосы небольшой производительности
|
Модель |
LR/HR60 |
LR/HR90 |
LR180 |
LR421 |
LR421-T |
UR421-T |
LR/HR300 |
LR/HR600 |
||
|
Тип насоса |
Форвакуумная ступень |
LR/HR60 |
LR/HR90 |
LR180 |
LR421 |
LR421-T |
UR421-T |
|
|
|
|
Ступень Рутса |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
PRC-003A |
PRC-006A |
||
|
Быстрота откачки |
м3/час |
62 |
112 |
183 |
440 |
440 |
410 |
359 |
653 |
|
|
л/мин |
1030 |
1860 |
3100 |
7333 |
7333 |
6833 |
5980 |
10900 |
||
|
Предельное давление |
Па |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
6.7*10-1 |
6.7*10-1 |
|
|
Торр |
3,7*10-2 |
3,7*10-2 |
3,7*10-2 |
3,7*10-2 |
3,7*10-2 |
3,7*10-2 |
5.0*10-3 |
5.0*10-3 |
||
|
Максимальное давление на входе |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
||
|
Рабочий диапазон |
Па |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
|
|
Торр |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
7,5*10-3- атм. |
||
|
Порт откачки |
VG50(NW40) |
VG80(NW50) |
VG80(NW50) |
VG100 |
VG100 |
VG100 |
VG80(NW80) |
VG80(NW80) |
||
|
Порт выхлопа |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
VG50 |
VG50 |
VG50 |
NW40 |
NW40 |
||
|
Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса |
есть/- |
есть/- |
есть/- |
есть/- |
есть/- |
есть/- |
есть/есть |
есть/есть |
||
|
Масса |
кг |
180 |
245 |
335 |
415 |
415 |
415 |
251 |
371 |
|
|
Электропитание |
Три фазы |
В (Гц) |
220 |
220 |
220 |
220/380 |
220/380 |
220/380 |
220 |
220 |
|
Ток |
При максимальном давлении |
А |
6,9 |
11,2 |
18,9 |
20,8 |
20,8 |
23,0 |
7,0 |
12,3 |
|
При максимальной нагрузке |
А |
7,0 |
11,8 |
20,6 |
48,5 |
48,5 |
52,5 |
9,6 |
19,0 |
|
|
Водяное охлаждение |
Рабочее давление |
МПа |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
|
Разница давлений на входе и выходе |
МПа |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,2 |
˃0,2 |
˃0,2 |
˃0,1 |
˃0,1 |
|
|
Поток |
л/мин |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
˃5,0 |
˃5,0 |
|
|
Продувочный газ N2 |
Рабочее давление |
МПа |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
|
Регулируемое давление |
МПа |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
|
|
Параметры продувки |
Уплотнение вала |
л/мин |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
газ. балласт |
л/мин |
0-45 |
0-45 |
0-45 |
нет |
0-45 |
0-195 |
0-45 |
0-45 |
|
 |
 |
Насосы высокой производительности
|
Модель |
UR600 |
LR/HR1200 |
UR1200 |
LR1800 |
UR1800 |
LR3601 |
LR3601-T |
LR3601-R |
LR3601-TR (TTR) |
UR3601-TT |
||
|
Тип насоса |
Форвакуумная ступень |
UR90 |
LR/HR90 |
UR90 |
LR180 |
UR180 |
LR421 |
LR421-T |
LR421 |
LR421-T |
LR421-T |
|
|
Ступень Рутса |
PRC-006A |
PRC-012A |
PRC-012A |
PRC-018A |
PRC-018A |
PRC-036C |
PRC-036C (-T) |
PRC-036C-R |
PRC-036C-R (-TR) |
PRC-036C |
||
|
Быстрота откачки |
м3/час |
653 |
1012 |
1012 |
1701 |
1701 |
3200 |
3200 |
3200 |
3200 |
2700 |
|
|
л/мин |
10883 |
16900 |
16867 |
28350 |
28350 |
53333 |
53333 |
53333 |
53333 |
45000 |
||
|
Предельное давление |
Па |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
6.7.10-1 |
|
|
Торр |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
5.0.10-3 |
||
|
Максимальное давление на входе |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
атм. |
||
|
Рабочий диапазон |
Па |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
1,0- атм. |
|
|
Торр |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
7,5.10-3- атм. |
||
|
Порт откачки |
VG80(NW40) |
VG100(NW100) |
VG100(NW100) |
VG150(NW100) |
VG150(NW100) |
VG150 |
VG150 |
VG150 |
VG150 |
VG150 |
||
|
Порт выхлопа |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
||
|
Защитное покрытие роторов форступени/ступени рудса |
есть/есть |
есть/есть |
есть/есть |
есть/есть |
есть/есть |
есть/нет |
есть/нет(есть) |
есть/нет |
есть/нет(есть) |
есть/есть |
||
|
Масса |
кг |
371 |
403 |
403 |
553 |
553 |
660 |
720 |
660 |
720 |
720 |
|
|
Электропитание |
Три фазы |
В (Гц) |
220 |
220 |
220 |
220 |
220 |
220/380 |
220/380 |
220/380 |
220/380 |
220/380 |
|
Ток |
При максимальном давлении |
А |
16.4 |
13,7 |
18,9 |
21,4 |
29,2 |
31,0 |
31,0 |
35,4 |
35,4 |
39,8 |
|
При максимальной нагрузке |
А |
17.3 |
24,2 |
22,4 |
39,8 |
34,9 |
58,4 |
58,4 |
82,0 |
82,0 |
68,3 |
|
|
Водяное охлаждение |
Рабочее давление |
МПа |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,1-0,3 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
0,2-0,5 |
|
Разница давлений на входе и выходе |
МПа |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,1 |
˃0,2 |
˃0,2 |
˃0,2 |
˃0,2 |
˃0,2 |
|
|
Поток |
л/мин |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃5,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
˃4,0 |
|
|
Продувочный газ N2 |
Рабочее давление |
МПа |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
0,1-0,5 |
|
Регулируемое давление |
МПа |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
0,05-0,1 |
|
|
Параметры продувки |
Уплотнение вала |
л/мин |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
|
газ. балласт |
л/мин |
0-45 |
0-45 |
0-45 |
0-45 |
0-195 |
НЕТ |
0-45 |
НЕТ |
0-45 |
0-195 |
|
 |
Модели насосов HR300/600/1200 предназначены для эксплуатации на давлении ниже 200 Па (2 мбар).
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».