Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs
Компания Вактрон представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.
Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS
• Высокоскоростное измерение
Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.
• Видимая область спектра
Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.
• Компактный сенсор
Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.
• Широкая приборная серия
Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.
Технические характеристики cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS
Название модели |
UNECS-Portable |
UNECS-1500M |
UNECS-1500A |
UNECS-2000A |
UNECS-3000A |
|
Метод измерения |
Спектроскопическая эллипсометрия |
|||||
Измеряемые пленки *0 |
Прозрачные и полупрозрачные пленки |
|||||
Диапазон длин волн |
530~750 нм или 380~760 нм |
|||||
Источник света |
Галогенная или ксеноновая лампа |
|||||
Размер пятна |
d1 мм или 0.3 мм |
|||||
Измерение многослойных пленок |
Измерение толщины пленки: максимум 6 слоев Измерение толщины и оптических параметров пленки: 1 слой (только для верхнего слоя) |
|||||
Угол падения |
70° |
|||||
Повторяемость для толщин пленок *2*3*4 |
0.1 нм |
|||||
Диапазон измерения толщин пленок *3 |
1 нм ~ 2 мкм |
|||||
Время измерения *3 |
Образцы |
20~3000 мс (возможна настройка) |
||||
Анализ |
300 мс |
|||||
Размер предметного столика |
Закрепленный (<d150 мм, отсоединяемый) |
d150 мм |
d200 мм |
d300 мм |
||
Шаг поворота столика и измерений |
R |
− |
90 мм ручная |
0~75 мм программируемая (разрешение 0.1 мм) |
0~100 мм программируемая (разрешение 0.1 мм) |
0~150 мм программируемая (разрешение 0.1 мм) |
θ |
− |
360° ручная |
0~359.9° программируемая (разрешение 0.1°) |
|||
Кол-во автомат. измеряемых точек |
− |
200 (доп. опция:2,000) 200 (доп.опция:2,000) 2,000 |
||||
Фокусировка (по оси Z) |
Ручная |
Автоматическая |
||||
Максимальная толщина образца |
8 мм 10 мм |
30 мм |
||||
Максимальный вес образца |
10 кг |
|||||
Функционал измерений |
① Измерение Ψ ( λ), Δ ( λ) ② Расчет толщины пленки(D) , показателя преломления(N), коэффициента поглощения(K) ② Построение цветной 2D карты (доп. опция: 3D построение) |
|||||
База данных материалов |
Различные пленки, напр.: оксидные или нитридные (доступно изменение и добавление) |
|||||
Камера для наблюдения |
− Как доп. опция |
|||||
Управляющий ПК |
ПК Ноутбук Windows 7 |
|||||
Габариты Ш×Д×В, мм |
Измерительное устройство: 220×268×244 (Не включая ПК, контроллер, источник света) |
Измерительное устройство: 300×400×384 (Не включая ПК и источник света) |
Основное устройство: 400×525×370 Основное устройство: 450×620×370 |
|||
Контроллер: 204×500×509 |
||||||
Вес |
Измерительное устройство: 2.2 кг. Столик 1.3 кг. |
Измерительное устройство: 10.3 кг |
Основное устройство: 24 кг Основное устройство: 31 кг |
|||
Контроллер: 19 кг |
||||||
Условия работы |
Питание |
AC100 /200В макс. 3A 50/60 Гц |
AC100 /200В макс. 6A 50/60 Гц |
|||
Вакуум |
− |
75 кПа (при использовании вакуумного предметного столика) |
||||
Рабочая среда |
Температура Влажность |
25±5 [ ͦС] |
||||
65[%RH] или меньше (Без конденсации) |
- Полупрозрачная пленка является верхней границей при измерении толщины пленки.
- Для SiO2 пленки (около 100 нм) на Si подложке, когда только толщина пленки предполагается измеряемым параметром.
- Для измерения однослойной пленки SiO2 на Si подложке.
- Стандартное отклонение (1σ) для 10 последовательных измерений.
Применение cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS
Измерение толщины (D), показателя преломления (N) и коэффициента поглощения (K) для прозрачных и полупрозрачных тонких пленок (оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.).
Дополнительные опции для эллипсометров ULVAC UNECS
- Стандартный образец (100 нм SiO2/Si)
- Руководство по эксплуатации (обычная или глянцевая бумага)
- Построение карты в широком разрешении 2,000 точек (для моделей 1500A/2000A)
- 3D цветная карта (для моделей 1500A/2000A/3000A)
- Внутренняя камера для наблюдения за образцом (для моделей 1500A/2000A/3000A)
Пример - UNECS-3000A 2D Цветная карта
SiO2 пленка на подложке d300 мм
Время измерения: 133 сек /169 точек