Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable
Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.
Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.
Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.
Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable
- Измерительное устройство (включая столик).
- Блок управления.
- Блок источника света.
- Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).
Характеристики спектрального эллипсометра Ulvac Unecs-portable
Диапазон длин волн |
530~750 нм или 380~760 нм |
Размер пятна |
d 1 мм или d 0.3 мм |
Угол падения |
70° |
Повторяемость для толщин пленок |
1σ=0.1 нм |
Диапазон измерения толщин пленок |
1 нм ~2 мкм |
Время измерения |
Отбор образцов: 20 мс ~ 3000 мс Анализ: 300 мс |
Столик для образцов |
Закреплен (< d 150 мм, отсоединяемый) |
Управление ПК |
Ноутбук с программным обеспечением для анализа |