Автоматические спектральные эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A
Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A - это 3 модели для работы с образцами d 150, 200 и 300 мм. Функции автофокуса и авто-построения карты предметного R-θ столика позволяют измерять толщину всей поверхности образца и отображать ее распределение в виде информативной цветной карты. Так же возможно измерение многослойных структур. Дополнительные функции и аксессуары включают построение карты в высоком 2000-пиксельном разрешении, 3D отображение и камеру для наблюдения.
Автоматические эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A – это высокоскоростные спектральные эллипсометры для быстрого измерения распределения толщины и оптических параметров тонких пленок, применяющие метод моментального снимка с автоматическим составлением карты покрытия, и позволяющие получать точные результаты измерений. Данная серия широко применяется как в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах, так и в технологическом контроле в серийном и массовом производстве в различных отраслях:
- в микроэлектронике и материалах для интегральных микросхем, светодиодов, дисплеев, устройств памяти, транзисторов, фотодетекторов, сенсоров и т.д.;
- в телекоммуникационных системах и системах спутникового телевидения;
- в энергетике для элементов солнечных батарей и др.;
- в органической химии для исследования свойств и структуры пленок органических соединений и физико-химических процессов на границах раздела сред;
- в материаловедении для исследования структуры материалов;
- в биологии и медицине - для исследования процессов адсорбции белков, свертываемости крови; в офтальмологии - для изучения сетчатки глаза;
- в экологических исследованиях - для контроля наличия и толщины пленок нефти на водных поверхностях и т.д.
Эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A оснащены автоматическим предметным столиком и функцией построения карты образца.
Характеристики автоматических эллипсометров Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A
|
Модель |
1500A |
2000A |
3000A |
|
Диапазон длин волн |
530~750 нм или 380~760 нм |
||
|
Размер пятна |
d 1 мм или 0.3 мм |
||
|
Угол падения |
70° |
||
|
Повторяемость для толщин пленок |
1σ＝0.1 нм |
||
|
Диапазон измерения толщин пленок |
1 нм ~ 2 мкм |
||
|
Время измерения |
Отбор образцов: 20 мс ~ 3000 мс Анализ: 300 мс |
||
|
Столик для образцов |
d 150 мм |
d 200 мм |
d 300 мм |
|
Количество автоматически измеряемых точек |
200 |
200 |
2,000 |
|
Управление ПК |
Ноутбук с программным обеспечением для анализа |
||
Комплект поставки Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A
- Измерительное устройство
- Блок управления
- Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD)
Габариты Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».