Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M
Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:
• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов
• Анализ состояния поверхности и структуры
Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M - это легкая и компактная модель, разработанная для встраивания в различные системы, подходящая для измерений и в вакууме, и при атмосферном давлении.
Технические характеристики Ulvac Unecs-1M
|
Диапазон длин волн |
530~750 нм или 380~760 нм |
|
Размер пятна |
d 1 мм или 0.3 мм |
|
Угол падения |
70° |
|
Повторяемость для толщин пленок |
1σ＝0.1 нм |
|
Диапазон измерения толщин пленок |
1 нм ~2 мкм |
|
Время измерения |
Отбор образцов: 20 мс ~ 3000 мс Анализ: 300 мс |
|
Рабочие условия |
Атмосфера или вакуум |
Комплект поставки встраиваемого эллипсометра Ulvac Unecs-1M
Измерительное устройство- Блок управления
- Блок источника света
- Руководство по эксплуатации (CD)
- ПО для анализа (CD)
В дополнение к стандартной модели, доступна модель для больiих подложек.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».