Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM
Новый продукт японской компании ULVAC – высокочувствительный газоанализатор Qulee HGM. HGM – это серия анализаторов остаточных газов с революционной простотой использования. Ulvac Qulee HGM обладает чувствительностью для всех моделей 2,5×10-6 А/Па. Qulee HGM позволяет проводить эффективный контроль содержания газов в ходе различных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и других процессов в вакууме.
• Наиболее подходит для исследовательских лабораторий
Это серия приборов с высокой чувствительностью 2,5×10-6 А/Па (3,3×10-4 А/Торр, 2,5×10-4 А/мбар)
• Простое техническое обслуживание - Нить накала, источник ионов, умножитель вторичных электронов очень легко заменить.
• Встроенный экран - для управления не обязателен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды
Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee HGM
|
Наименование модели |
HGM-202 |
HGM-302 |
||
|
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный |
|||
|
Диапазон анализируемых масс |
1–200 а.е.м. |
1–300 а.е.м. |
||
|
Разрешающая способность |
M/∆M = 1 M (10% от высоты пика) |
|||
|
Тип детектора |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель |
|
Чувствительность |
2,5×10-6 А/Па |
4 А/Па |
2×10-6 А/Па |
4 А/Па |
|
3,3×10-4 А/Торр |
533 А/Торр |
3,3×10-4 А/Торр |
533 А/Торр |
|
|
2,5×10-4 А/мбар |
400 А/мбар |
2,5×10-4 А/мбар |
400 А/мбар |
|
|
Минимально детектируемое парциальное давление |
~10-9 Па |
~10-13 Па |
~10-9 Па |
~10-13 Па |
|
~7,5×10-12 Торр |
~7,5×10-16 Торр |
~7,5×10-12 Торр |
~7,5×10-16 Торр |
|
|
~1×10-11 мбар |
~1×10-12 мбар |
~1×10-11 мбар |
~1×10-12 мбар |
|
|
Максимальное рабочее давление |
1×10-2 Па |
|||
|
7,5×10-3 Торр |
||||
|
1×10-4 мбар |
||||
|
Нить накала |
Ir/Y2O3, 2 шт. |
|||
|
Напряжение ионизации |
От 25 до70 эВ (по умолчанию 50 эВ) |
|||
|
Ток эмиссии |
0,1 мА/0,5 мА/1,0 мА (по умолчанию 0,5 мА) |
|||
|
Дегазация |
Электронная бомбардировка, 330 В, 5мА |
|||
|
Функция измерения общего давления |
Присутствует |
|||
|
Напряжение ЭМУ |
От -1,0 до 3,0 кВ (шаг 1 В) |
|||
|
Функция одного касания |
Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы |
|||
|
Функция проверки на герметичность одним касанием |
Присутствует |
|||
|
Питание |
Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт |
|||
|
Масса (анализатор/детектор) |
2,4 кг/0,81 кг |
|||
|
Максимальная рабочая температура анализатора |
250 °С (482 °Ф) |
|||
|
Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена) |
300 °С (572 °Ф) |
|||
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф) |
|||
|
Рабочий диапазон влажности |
От 15 до 80% (не конденсат) |
|||
|
IP рейтинг |
IP30 (анализатор) |
|||
|
Разъём питания |
MSTBV2.5/3-GF-5.08 |
|||
|
Последовательный интерфейс связи |
RS232C/RS485 (опционально) |
|||
|
Внешний разъём входа/выхода |
D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6) |
|||
|
Разъём последовательного интерфейса |
6-и пиновый разъём (RJ-11) |
|||
|
Внешний сигнал входа/выхода |
Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход ошибки ×1 (Нить накала, ЭМУ, ВМ), выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1 |
|||
|
Программное обеспечение |
Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8) |
|||
|
Стандартное вспомогательное оборудование |
Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации ( со страницами для заметок) |
|||
|
Опциональное оборудование |
QIP( специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства, инструкция по эксплуатаци с чистыми листами для заметок |
|||
|
Сертификация |
ЕС |
|||
Применение высокочувствительногоквадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee HGM
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
- Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
- Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
- Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок
Габаритные размеры высокочувствительного квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee HGM
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».