Квадрупольная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Безмасляная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.

• Разработан для работы в составе систем травления и химического осаждения из газовой фазы
• Закрытый ионный источник с использованием магнитного поля. Мягкая ионизация создаёт меньшую газовую диссоциацию и позволяет обеспечить более высокую чувствительность. В ионизационной камере распад и абсорбция из-за термических реакций сведены к минимуму
• Малое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет получить быстрый отклик
• Подходит для динамического контроля процессов
• Доступен широкий диапазон рабочих давлений от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, от 1×10-8 до 130 мбар)

• Встроенный экран - для управления не обязателен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды

Технические характеристики системы анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Наименование модели	RGM-202	RGM-302
Вид масс-анализатора	Квадрупольный
Диапазон анализируемых масс	1–200 а.е.м.	1–300 а.е.м.
Разрешающая способность	M/∆M = 1 M (10% от высоты пика)
Тип детектора	Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея
Чувствительность	1×10-3 А/Па
	1,33×10-1 А/Торр
	0,1×10-4 А/мбар
Минимальное детектируемое парциальное давление	1×10-10 Па
	7,5×10-13 Торр
	1×10-12 мбар
Источник ионов	Закрытый источник ионов с применением магнитного поля
Нить накала	Ir/Y2O3 V образной формы, 1 шт.
Напряжение ионизации	От 20 до 70 эВ
Ток эмиссии	10 мкА
Диапазон усиления постоянного тока	От 1×10-5 до 1×10-12 А
Максимальная рабочая температура обезгаживания	120 °С (248 °Ф)
Внешняя система вакуумная откачки
Клапан входа газа	Компактный электропроводящий клапан с 3-мя различными режимами газа на входе (VPC-030)
Максимальное давление отбора проб	13 кПа
	97,5 Торр
	130 мбар
Дифференциальная система откачки	С промежуточным портом и портом продувки газа
Турбомолекулярный насос	67 л/с: N2
Форвакуумный насос	спиральный Ulvac DIS090
Вакуумметр пирани	Ulvac SW1-1
Ионизационный вакуумметр	Ulvac GI-M2
Масса	Система откачки: 57 кг / Контроллер: 38 кг
Питание и газ
Источник питания	AC 100 В, 15 А
Сжатый воздух	Сухой N2: от 0,4 до 0,7 МПа (Ø6 мм БРС)
	Сухой N2: от 3×103 до 5,25×103 Торр (Ø6 мм БРС)
	Сухой N2: от 4 до 7 мбар (Ø6 мм БРС)
Устройство контроля
Функция “одного касания”	Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы
Последовательный интерфейс связи	RS232C/RS485
Внешний ввод/вывод и другое	Аналоговый вход ×2 (от 0 до 10 В)
	Выход заданного значения ×2 (ошибка, авария)
	Внешняя блокировка
Прочее
Устройство дегазации	Ленточный нагреватель
Подставка	Стандартная
Блок датчика (кабель блока управления)	5 м
Программное обеспечение	Qulee QSC вер.3.0 и новее (совместимо с Windows 7/8)
Опционально	ПК

Применение масс-спектрометрической системы анализа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

• Применяется для контроля процессов травления и процессов химического парофазного осаждения
• Контроль состава газовой фазы во время процессов
• Финишный контроль процессов травления и очистки
• Анализ остаточных газов в камерах
• Проверка систем на герметичность

Габариты измерительного блока Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Габариты измерительного блока управления системы газового анализа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию

Заполните, пожалуйста, все поля формы корректно.

1. Имя
   Пожалуйста, введите Ваше имя.
2. Сообщение
   Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
3. E-mail*
   Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
4. Телефон для связи
   Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
5. Организация*
   Введите название организации
6. Подтверждение*
   всё верноПоставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".