Квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee с высоковакуумной системой Ulvac YTP
Комбинация высоковакуумного откачного поста Ulvac YTP с квадрупольным масс-спектрометром Ulvac Qulee - комплексная система для измерений, анализа и управления технологическим процессом.
• Низкая стоимость
• Компактная конструкция. Используется стандартная модель откачного поста YTP-50M
• Используется модель масс-спектрометра со встроенным экраном. Обеспечивается визуализация информации без необходимости в ПК
• Простота управления. Для простоты работы присутствуют функции одного нажатия, без сложных процедур настройки.
• Настройка максимального рабочего давления: 500 Па,100 Па, 10 Па и 1 Па (3,75 Торр, 0,75 Торр, 7,5×10-2 Торр, 7,5×10-3 Торр/ 5мбар, 1 мбар, 0,1 мбар и 1×10-2 мбар)
• Комплект дополняется в соответствии с вашими требованиями - диапазон анализируемых масс 1–100 а.е.м (BGM-101/102), 1–200 а.е.м (BGM-201/202), 1–300 а.е.м. (HGM-302)
Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee с высоковакуумной системой Ulvac YTP
|
Масс-спектрометр Ulvac Qulee |
Выбор между BGM-101/102/201/202, HGM-302 |
|
|
Максимальное давление отбора проб |
c атм.давления/500 Па/100 Па/10 Па/1 Па |
|
|
с атм.давления/3,75 Торр/0,75 Торр/7,5×10-2 Торр/7,5×10-3 Торр |
||
|
с атм.давления/5 мбар/1 мбар/0,1 мбар/1×10-2 мбар |
||
|
Подача газа (порт от 500 до 1 Па; порт от 3,75 до 7,5×10-3 Торр; порт от 5 до 1×10-2 мбар) |
Ручной сильфонный клапан (фланец UFC070) |
|
|
Работа при атмосферном давлении APS-001
|
Безмасляный насос |
Быстрота откачки 6 л/мин |
|
Предельное давление |
6700 Па (50 Торр, 67 мбар) |
|
|
Управляющее устройство |
Кабель питания 3 м |
|
|
Трубка |
1/4 дюйма |
|
|
Входное напряжение |
5 А, 100 В АС |
|
|
Вакуумный откачной пост YTP-50M |
Быстрота откачки 50 л/с (N2) |
|
|
Фор.насос |
Плантинчато-роторный или безмасляный насос |
|
|
Предельное давление |
Ниже 1,0×10-7 Па (7,5×10-10 Торр, 1,0×10-9 мбар) (значение после обезгаживания ТМН) |
|
|
GP-1G |
||
|
Входное напряжение |
14 А, 100 В АС |
|
|
ПО |
Qulee QSC вер.3.0 и новее (совместимо с Windows 7/8) |
|
|
Опциональные аксессуары |
Комплект ионизационных вакуумметров (G1-M2, M-13, кабель главного датчика 2 м, тройник (IFX070), переходной фланец (UFC070/030), болты, уплотнения) |
|
Применение квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee с высоковакуумной системой Ulvac YTP
- Анализ различных газов для проведения исследований и разработок
- Контроль состава газовой фазы в различных системах напыления тонких плёнок во время процесса
- Анализ остаточных газов для высоковакуумного откачного оборудования и технологических систем
- Анализ газов при атмосферном давлении (105 Па, 760 Торр, 1013 мбар: модель для атмосферного давления)
Размеры Ulvac Qulee для работы от 500 до 1 Па
 |
Размеры Ulvac Qulee для работы при атмосферном давлении
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».