Распыляемые мишени Ulvac
Компания Вактрон предлагает материалы в качестве мишеней для осаждения испарением и распылением.
Мишени изготавливаются японской компанией ULVAC и представляют собой изделия:
- высокого качества и чистоты,
- равномерного состава,
- высокой плотности,
- низкой газации.
Возможно изготовление специальных отдельных пластин-мишеней и пластин-держателей.
Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.
Таблица характеристик распыляемых мишеней Ulvac
|
Элемент |
Характеристика |
Чистота (%) |
Размеры |
|
C |
Углерод высокой чистоты |
99.999 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Al |
Для вакуумного плавления |
99.99 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Ti |
Для дугового плавления |
99.8 |
dia. 4" X 6t~(3N8)5" X 18" X 6t |
|
Спекаемые части |
99.9 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
|
Fe |
Для вакуумного плавления |
99.99 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Ni |
Для вакуумного плавления |
99.9 |
dia. 4" X 3t~(4N)5" X 18" X 3t |
|
Cu |
Для вакуумного плавления |
99.99 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Zn |
Для плавления в атмосфере |
99.99 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Mo |
Для плавления потоком электронов |
99.9 |
dia. 4" X 6t~5" X 18" X 6t |
|
Ta |
Для плавления потоком электронов |
99.95 |
dia. 4" X 6t~5" X 18" X 6t |
|
Fe-Ni |
Для вакуумного плавления |
99.8 |
dia. 4" X 2t~5" X 18" X 2t |
|
SiO2 |
Кварц |
99.9999 |
dia. 4" X 6t~5" X 20" X 6t |
|
Si3N4 |
Спекаемый материал |
99.5 |
dia. 4" X 6t~8" X 18" X 6t |
|
ZnS |
Спекаемые части |
99.99 |
dia. 4" X 6t~5" X 18" X 6t |
Материалы для осаждения пленок и распыляемые мишени Ulvac помогут Вам подобрать наши специалисты.
Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» имени В. И. Ульянова и ООО «ВАКТРОН» приглашают сотрудников предприятий принять участие в курсе повышения квалификации «Основы течеискания и вакуумной техники».