Емкостной мановакуумметр Ulvac G-Tran CCMT-D

Серия мановакуумметров Ulvac CCMT-D являются датчиками емкостного типа, работающими на основе преобразования величины электрической емкости, изменяющейся при деформации алюмо-керамической мембраны на величину абсолютного давления в условиях, отличных от атмосферного давления.

Датчики линейки G-TRAN ССMT-D находят свое применение для таких технологических процессов как:

• Вакуумная металлургия и процессы термообработки под вакуумом
• Оборудование для нанесения пленок и покрытий
• Процессы по производству фотогальванических элементов и ЖК-панелей
• Лабораторное и промышленное оборудование с повышенными требованиями к точности измерения
  

 

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1/SW1-2

Серия вакуумметров Ulvac SW1-1/SW1-2 являются датчиками Пирани с расширенным диапазоном измерения давлении от атмосферного до 5х10^-2 Па. Датчики Пирани G-TRAN SW1 могут быть интегрированы в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым, датчики Пирани G-Tran SW1 могут помогут снизить издержки при сборке системы измерения вакуума.

Датчики линейки G-TRAN SW1-1/SW1-2 находят свое применение для таких технологических процессов как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SW1-1-ISG1 Combo

Комплект из датчика Пирани Ulvac SW1-1 и одноканального контроллера с цифровой индикацией показаний ISG1 представляет собой экономичное решение для реализации системы измерения.

Датчики Пирани SW1-1 с платиновым катодом обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от атмосферного до 5х10^-2 Па.

Датчики линейки G-TRAN SW1-1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или серийном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1

В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.

Датчик Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10^-3 мм рт. ст. и 3 до 4х10^-3 мбара, соответственно).

Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2

Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).

Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.

Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.

Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1

Датчик абсолютного давления магнетронного типа с холодным катодом Ulvac G-Tran SC1 – надежное и точное измерение вакуума. Благодаря отсутствию катода накаливания, датчики Ulvac G-Tran SC1 просты в эксплуатации и обладают длительным сроком службы.

Датчики линейки Ulvac G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Вакуумметр Ulvac Ax-Tran для сверхвысокого вакуума

Датчик абсолютного давления с накаливаемым катодом позволяет выполнять измерения в диапазоне экстремально низких давлений – до 5×10^-11Па (3.75×10^-13мм рт. ст., 5×10^-13мбар).

Благодаря специальной конструкции фильтра Бесселя и взаиморасположению элементов электронной оптики, в датчике ULVAC AxTran удалось снизить уровень влияния на ионный ток токов утечки от возникающего мягкого рентгеновского излучения и эффекта электронно-стимулированной десорбции (ESD эффект), что позволило гарантировать высокую разрешающую способность на сверхвысоком вакууме.

 

Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran IM1R1-IM2R1

Контроллеры Ulvac IM1R1-IM2R1 поддерживают обмен данными и управляющими сигналами по четырем каналам с возможностью подключения как различных измерителей давления одновременно, так и с возможностью обмена данными между несколькими контролерами, соединенными последовательно.

Стандартный набор функций контроллеров Ulvac IM1R1-IM2R1 предусматривает пре-программирование 8-ми выходных дискретных сигналов и обмена данными между подключенными устройствами.

Таким образом, благодаря контролю необходимых блокировок и уровней сигнала, можно реализовать систему измерения вакуума в широком диапазоне давлений, с последовательным и безопасным включением датчиков, например, Пирани, а затем ионизационных датчиков.

Контроллеры серии Ulvac G-TRAN IM1R1-IM2R1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Измерение давления в широком диапазоне от низкого до высокого с возможностью контроля и блокировок большого количества уровней сигнала, необходимых для управления технологическим процессом с многоступенчатой системой откачки и/или нескольких вакуумных камер и т.п.

 

Контроллеры вакуумметров Ulvac G-Tran ISG1

Контроллер ISG1 совместим со всеми датчиками давления Ulvac серии G-TRAN, включая емкостные преобразователи давления серии CCM.

Контроллеры серии ISG1 представляют собой простое и надежное решения для широкого круга пользователей.

Контроллеры Ulvac G-TRAN ISG1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Измерение давления в широком диапазоне от низкого до высокого с возможностью контроля и блокировок большого количества уровней сигнала, необходимых для управления технологическим процессом с многоступенчатой системой откачки и/или нескольких вакуумных камер и т.п.