Ионизационный вакуумметр с холодным катодом Ulvac G-Tran SС1

Датчик абсолютного давления магнетронного типа с холодным катодом Ulvac G-Tran SC1 – надежное и точное измерение вакуума. Благодаря отсутствию катода накаливания, датчики Ulvac G-Tran SC1 просты в эксплуатации и обладают длительным сроком службы.

Датчики линейки Ulvac G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов, как:

• Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
• Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
• Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.

Мульти ионизационный вакуумметр Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2

Новейшая разработка компании ULVAC – ионизационный датчик с двумя катодами Ulvac G-TRAN SH2-1/SH2-2 c управлением с обратной связью основными параметрами измерения. Компания ULVAC разработала, запатентовала данную линейку датчиков под названием – мульти-ионизационный датчик (Multi Ionization Gauge – patent pending).

Управление током эмиссии, процессом дегазации и выбором измерительной головки в соответствии с диапазоном измерения производятся автоматически.

Особенностью данной линейки датчиков давления является возможность измерения вакуума в широком диапазоне. При этом индикация цифрового сигнала может производиться по одному каналу, что позволяет снизить издержки по обслуживанию и эксплуатации измерительного оборудования.