Вакуумметр Пирани Ulvac G-Tran SP1
В датчике SP1-1 преобразователи Пирани серии WP объединены в одном корпусе с платой управления. Функциональные возможности датчика SP-1 позволяют интегрировать измеритель в систему управления технологическими процессами для контроля основных параметров без использования специальных контроллеров или индикаторов. Тем самым датчики Пирани G-Tran SP1 могут помогут снизить издержки при реализации системы измерения вакуума.
Датчик Пирани SP1 с преобразователями серии WP обеспечивает измерение вакуума в диапазоне давлений от 3000 до 0,4 Па (от 22 до 2х10-3 мм рт. ст. и 3 до 4х10-3 мбара, соответственно).
Датчики линейки G-TRAN SP1 находят свое применение для таких технологических процессов как:
- Производство фотоэлектрических элементов, полупроводников, элементов опто- и микроэлектроники
- Контроль процессов откачки шлюзовых и высоковакуумных камер при единичном или последовательном производстве полупроводниковых пластин
- Измерение давления в диапазоне низкого вакуума в общепромышленных процессах, таких как вакуумные печи, установок нанесения покрытий и т.п.