Плазменные эмиссионные системы

Специалисты компании Вактрон осуществляют разработку плазменных эмиссионных систем на базе тлеющих и дуговых разрядов. Компания проводит инжиниринг, изготовление, поставку и ввод в эксплуатацию современных отечественных плазменных ускорителей, магнетронов, ионно-плазменных систем и плазменных источников ионных, нейтральных и электронных пучков. Системы используются для модификации конструкционных материалов и создания новых материалов  со специальными свойствами.

Модуль для очистки и активации поверхности потоком быстрых частиц

Модуль предназначен для очистки и активации поверхности перед нанесением покрытий любого функционального назначения. Очистка поверхности производится потоком быстрых нейтральных частиц, что позволяет обрабатывать как проводящие, так и диэлектрические поверхности. Конструкция модуля обеспечивает отсутствие в пучке частиц ионов с энергией более 10 эВ, что позволяет ликвидировать возможность пробоя диэлектрических пленок даже малой толщины.

Система рекуперации гелия

Компании, которые используют большие объемы гелия, могут существенно экономить применяя системы рекуперации гелия. Установки позволяют сохранять до 98% гелия, выбрасываемого после рабочего цикла.

Установка содержит встроенную систему фильтрации, а также систему измерения концентрации гелия, что позволяет обеспечить надежные результаты рекуперации и последующей проверки  на герметичность с использованием накопленного гелия.

Эти системы могут использоваться в сочетании с автоматизированными системами проверки герметичности в промышленных областях применения, где гелий используется для течеискания в изготовленных и собранных компонентах.

Они также могут быть использованы с другими системами контроля герметичности и в других сферах применения, где гелий можно восстановить для повторного использования или переработки.

Система для заправки изделия гелием

Автоматическая установка для заполнения изделия смесью газов определенной концентрации.

Основная функция этого устройства – заполнить гелиево-воздушной смесью изделия, которые должны быть испытаны на герметичность. Устройство обладает дополнительными функциями, такими как смешивание газов и контроль герметичности манометрическим методом.

Установка используется для приготовления гелиево-воздушных смесей на месте испытаний с использованием гелиевых масс-спектрометрических течеискателей.

Функции автоматической установки заполнения изделия гелием

Комплект для обдува гелием

Комплект предназначен для обдува гелием контролируемого объекта.

Комплект для обдува гелием включает:

• Эргономичный и легкий пистолет-распылитель с длинным наконечником;
• Герметичный по гелию витой шланг для подачи гелия;
• Редуктор гелиевый для подачи потока гелия из источника;
• Разъемы подключения обдувателя к газовому баллону или системе.

Комплект для обдува проверен на отсутствие натеканий по гелию в пределах чувствительности масс-спектрометрического течеискателя.

Течи гелиевые

Компания «Вактрон» изготавливает гелиевые течи. Гелиевая течь представляет собой устройство, дающее непрерывный неизменный по величине поток гелия.

Действие течи основано на диффузии гелия сквозь мембрану из плавленого кварца. Течь предназначена калибровки гелиевых течеискателей перед процессом контроля герметичности.

Специалисты «Вактрон» изготавливают течи для калибровки течеискателя в режиме вакуумных испытаний (течи типа Гелит-1 и Гелит-2), так и течи для калибровки в режиме щупа. Течь для настройки течеискателя в режиме щупа не требует откачки с внешней стороны и обеспечивает заданный поток газа при истечении в атмосферу.

Щуп для масс-спектрометрических течеискателей

Щуп является совместимым со всеми масс-спектрометрическими течеискателями. Может быть установлен на:

• современные отечественные течеискатели: ТИ1-50, ТИ1-30, ТИ1-22
• классические отечественные течеискатели: ПТИ-6, ПТИ-7, СТИ-10, ПТИ-10, ТИ1-14, ТИ1-15. Щуп FlexyProbe может заменять щуп-молоток с переменным расходом газа.
• иностранные течеискатели: Adixen ASM 142, ASM 310, Inficon UL1000, Leybold PHOENIXL 300, VIC MS-40, Shimadzu MSE-2000R, ULVAC HELIOT 710, Agilent VS PR02 (кроме моделей с электронным управлением щупом)

Особенности щупа для течеискателей

1. Поиск течей в самых труднодоступных местах благодаря исключительной гибкости конструкции.
2. Минимальная задержка сигнала от течи как результат оптимальной компоновки внутреннего объема.
3. Прочность корпуса, исключающая поломки и утечки даже в тяжелых условиях эксплуатации.
4. Система фильтрации для предотвращения засоров. Запас сменных фильтров в комплекте поставки.
5. Исключительная простота и низкая стоимость замены фильтрующих элементов, обеспечивающие длительную бесперебойную эксплуатацию в производственных условиях.
6. Сменная сгибаемая игольчатая насадка для точного обнаружения места утечки в труднодоступных местах.

Вакуумные клапаны с пневматическим приводом

Пневматическое управление вакуумным клапаном является надежным, экономичным с точки зрения энергопотребления и позволяет выстраивать системы с высокой автоматизацией процессов.

Клапаны с пневматическим приводом делятся на клапаны с односторонним и двусторонним действием. Отличие состоит в механизме возврата в исходное состояние – пружинном или управляемом пневматическом.

Звоните или оставляйте заявку в письменной форме, и специалисты компании Вактрон подберут вакуумные клапаны для вакуумных систем вашего предприятия или лаборатории.

Вакуумные клапаны с ручным управлением

Алюминиевые угловые вакуумные клапаны с ручным приводом

Угловые клапаны серии XLH сильфонного типа с ручным приводом рассчитаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10^-6 Па. Материал корпуса - алюминиевый сплав, сильфонного узла - нержавеющая сталь. Выпускаются модификации с диаметром условного прохода (ДУ) 16, 25, 40, 50 мм. Диапазон рабочих температур составляет 5-150^оС. Достоинством клапанов с корпусом, выполненым из алюминия, является низкая стоимость, низкий вес, возможность использования при работе с агрессивными газами и существенно более высокая однородность температуры во внутреннем объеме клапана при его прогреве.

Вакуумные клапаны с электромагнитным приводом

Нормально закрытые угловые клапаны сильфонного типа с электромагнитным приводом рассчитаны на диапазон давлений от атмосферного до 1х10^-6 Па. Материал корпуса - алюминиевый сплав, сильфонного узла - нержавеющая сталь. Выпускаются модификации с диаметром условного прохода (ДУ) 16, 25 мм для небольших вакуумных систем. В зависимости от исполнения диапазон рабочих температур составляет 5-40^оС. Достоинством клапанов с корпусом, выполненым из алюминия, является низкая стоимость, низкий вес, возможность использования при работе с агрессивными газами и существенно более высокая однородность температуры во внутреннем объеме клапана при его прогреве.

Для клапанов серий XLS предусмотрено большое количество опций: контроллер напряжения питания, различные материалы для уплотнения седла, питание соленоида различных стандартов.

Вакуумные клапаны

Клапаны для вакумных систем находятся в наличии на складе в Петербурге.

Для сборки вакуумных систем компания «Вактрон» поставляет вакуумные клапаны, вентили и натекатели в различных исполнениях.

• Клапаны вакуумные с ручным приводом
• Клапаны вакуумные с электромагнитным приводом
• Клапаны вакуумные с пневматическим приводом
• Клапаны-натекатели

Виды вакуумных клапанов, предлагаемых компанией ООО «Вактрон»:

Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M

Встраиваемая модель Ulvac Unecs-1M обладает малыми габаритами и позволяет реализовать в комплексной системе такие функции эллипсометрических измерений, как:

• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов
• Анализ состояния поверхности и структуры

Встраиваемый эллипсометр Ulvac Unecs-1M - это легкая и компактная модель, разработанная для встраивания в различные системы, подходящая для измерений и в вакууме, и при атмосферном давлении.

Автоматические спектральные эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A

Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A - это 3 модели для работы с образцами d 150, 200 и 300 мм. Функции автофокуса и авто-построения карты предметного R-θ столика позволяют измерять толщину всей поверхности образца и отображать ее распределение в виде информативной цветной карты. Так же возможно измерение многослойных структур. Дополнительные функции и аксессуары включают построение карты в высоком 2000-пиксельном разрешении, 3D отображение и камеру для наблюдения.

Автоматические эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A – это высокоскоростные спектральные эллипсометры для быстрого измерения распределения толщины и оптических параметров тонких пленок, применяющие метод моментального снимка с автоматическим составлением карты покрытия, и позволяющие получать точные результаты измерений. Данная серия широко применяется как в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах, так и в технологическом контроле в серийном и массовом производстве в различных отраслях:

• в микроэлектронике и материалах для интегральных микросхем, светодиодов, дисплеев, устройств памяти, транзисторов, фотодетекторов, сенсоров и т.д.;
• в телекоммуникационных системах и системах спутникового телевидения;
• в энергетике для элементов солнечных батарей и др.;
• в органической химии для исследования свойств и структуры пленок органических соединений и физико-химических процессов на границах раздела сред;
• в материаловедении для исследования структуры материалов;
• в биологии и медицине - для исследования процессов адсорбции белков, свертываемости крови; в офтальмологии - для изучения сетчатки глаза;
• в экологических исследованиях - для контроля наличия и толщины пленок нефти на водных поверхностях и т.д.

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M

Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.

Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.

Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:

• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов 
• Анализ состояния поверхности и структуры

Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable

Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.

Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.

Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.

Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable

• Измерительное устройство (включая столик). 
• Блок управления.
• Блок источника света.
• Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).

Характеристики спектрального эллипсометра Ulvac Unecs-portable

Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs

Компания Вактрон представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.

Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

• Высокоскоростное измерение

Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.

• Видимая область спектра

Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.

• Компактный сенсор

Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.

• Широкая приборная серия

Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.