Автоматические спектральные эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A

Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A - это 3 модели для работы с образцами d 150, 200 и 300 мм. Функции автофокуса и авто-построения карты предметного R-θ столика позволяют измерять толщину всей поверхности образца и отображать ее распределение в виде информативной цветной карты. Так же возможно измерение многослойных структур. Дополнительные функции и аксессуары включают построение карты в высоком 2000-пиксельном разрешении, 3D отображение и камеру для наблюдения.

Автоматические эллипсометры Ulvac Unecs-1500A/2000A/3000A – это высокоскоростные спектральные эллипсометры для быстрого измерения распределения толщины и оптических параметров тонких пленок, применяющие метод моментального снимка с автоматическим составлением карты покрытия, и позволяющие получать точные результаты измерений. Данная серия широко применяется как в научно-исследовательских и опытно-конструкторских работах, так и в технологическом контроле в серийном и массовом производстве в различных отраслях:

• в микроэлектронике и материалах для интегральных микросхем, светодиодов, дисплеев, устройств памяти, транзисторов, фотодетекторов, сенсоров и т.д.;
• в телекоммуникационных системах и системах спутникового телевидения;
• в энергетике для элементов солнечных батарей и др.;
• в органической химии для исследования свойств и структуры пленок органических соединений и физико-химических процессов на границах раздела сред;
• в материаловедении для исследования структуры материалов;
• в биологии и медицине - для исследования процессов адсорбции белков, свертываемости крови; в офтальмологии - для изучения сетчатки глаза;
• в экологических исследованиях - для контроля наличия и толщины пленок нефти на водных поверхностях и т.д.

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M

Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.

Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.

Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.

Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:

• Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
• Измерение оптических констант образцов
• Исследование структуры материалов 
• Анализ состояния поверхности и структуры

Портативный спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-portable

Легкая и компактная переносная модель спектрального эллипсометра Ulvac.

Масса измерительного устройства всего 2,2 кг. Оно легко может быть доставлено на место проведения измерений.

Также позволяет измерять образцы больших размеров при отсоединении специального столика и установки устройства прямо на образец или установку.

Комплект поставки эллипсометра Ulvac Unecs-portable

• Измерительное устройство (включая столик). 
• Блок управления.
• Блок источника света.
• Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).

Характеристики спектрального эллипсометра Ulvac Unecs-portable

Спектральные эллипсометры Ulvac Unecs

Компания Вактрон представляет в России спектральные эллипсометры ULVAC UNECS, изготавливаемые в Японии. UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок.

Применение уникального метода измерения позволяет проводить высокоскоростные измерения при малых габаритах устройства. Широкая серия приборов Ulvac Unecs включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.

Особенности cпектральных эллипсометров ULVAC UNECS

• Высокоскоростное измерение

Реализован метод моментального снимка и высокоскоростное измерение в 20 мс на точку.

• Видимая область спектра

Изменяемая область спектра длин волн. Стандартная область 530 нм ~ 750 нм и видимая область 380 нм ~ 760 нм.

• Компактный сенсор

Сенсор легок и очень компактен. Он состоит из оптического элемента без вращающихся частей. Кроме того, нет необходимости в периодическом техническом обслуживании.

• Широкая приборная серия

Широкая серия приборов включает в себя портативные, автоматизированные, встроенные и другие типы моделей.