Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M
Ulvac UNECS – это серия спектральных эллипсометров для быстрого и точного измерения показателя преломления и толщины тонких пленок: оксидные пленки, нитридные пленки, фоторезистивные пленки, пленки оксида индия-олова и т.д.
Спектральный эллипсометр Ulvac Unecs-1500M отличается тем, что имеет настраиваемый вручную столик для образцов d 150 мм.
Позволяет легко устанавливать измеряемые точки с помощью точного настраиваемого R-θ предметного столика.
Применение уникального метода измерения позволяет реализовать высокоскоростные измерения в малых габаритах устройства, такие как:
- Измерение толщины пленок и слоев в тонкопленочных структурах
- Измерение оптических констант образцов
- Исследование структуры материалов
- Анализ состояния поверхности и структуры
Характеристики спектрального эллипсометра Ulvac Unecs-1500M
Диапазон длин волн |
530~750 нм или 380~760 нм |
Размер пятна |
d 1 мм или d 0.3 мм |
Угол падения |
70° |
Повторяемость для толщин пленок |
1σ=0.1 нм |
Диапазон измерения толщин пленок |
1 нм ~2 мкм |
Время измерения |
Отбор образцов: 20 мс ~ 3000 мс Анализ: 300 мс |
Столик для образцов |
Настраиваемый R-θстолик для d 150 мм образцов |
Управление ПК |
Ноутбук с программным обеспечением для анализа |
Комплект поставки Ulvac Unecs-1500M
- Измерительное устройство (включая настраиваемый столик и блок управления)
- Блок источника света
- Управляющий ПК (Ноутбук) и руководство по эксплуатации (CD).
Габариты эллипсометра Ulvac Unecs-1500M