Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM
Компактная версия квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM обеспечивает высокую точность и разрешающую способность даже при относительно высоких давлениях (до 1 Па).
• Этот анализатор идеально подходит для контроля состава газовой фазы систем распыления
• Не требуется дифференциальная система откачки
Дифференциальная система откачки не нужна при давлениях от 1 Па (7,5×10-3 Торр, 1×10-2 мбар) или ниже
• Встроенный экран - для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды
Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee СGM
Наименование модели |
CGM-051 |
CGM-052 |
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный |
|
Диапазон анализируемых масс |
1–50 а.е.м. |
|
Разрешающая способность |
M/∆M = 1 M (10% от высоты пика) |
|
Тип детектора |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель / Коллектор Фарадея |
Чувствительность |
10-7 А/Па |
10-4 А/Па |
1,33×10-5 А/Торр |
1,33×10-2 А/Торр |
|
1×10-5 А/мбар |
1×10-2 А/мбар |
|
Минимально детектируемое парциальное давление |
10-7 Па |
10-10 Па |
7,5×10-10 Торр |
7,5×10-13 Торр |
|
1×10-9 мбар |
1×10-12 мбар |
|
Максимальное рабочее давление |
2 Па |
КФ: 2 Па, ЭМУ: 1×10-2 Па |
1,5×10-2 Торр |
КФ:1,5×10-2 Торр, ЭМУ: 7,5×10-5 Торр |
|
2×10-2 мбар |
КФ:2×10-2 мбар, ЭМУ: 1×10-4 мбар |
|
Линейность |
1 Па |
|
7,5×10-3 Торр |
||
1×10-2 мбар |
||
Нить накала |
Ir/Y2O3, 2 шт. |
|
Напряжение ионизации |
40 эВ |
|
Ток эмиссии |
0,1 мА/0,4 ма |
|
Дегазация |
Электронная бомбардировка, 300 В, 5мА |
|
Функция измерения общего давления |
Присутствует |
|
Функция одного касания |
Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы |
|
Функция проверки на герметичность одним касанием |
Присутствует |
|
Питание |
Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт |
|
Масса (анализатор/детектор) |
2,1 кг/0,44 кг |
2,2 кг/0,44 кг |
Максимальная рабочая температура анализатора |
120 °С (248 °Ф) |
|
Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена) |
250 °С (482 °Ф) |
|
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф) |
|
Рабочий диапазон влажности |
От 15 до 80% (без конденсата) |
|
IP рейтинг |
IP30 (анализатор) |
|
Разъём питания |
MSTBV2.5/3-GF-5.08 |
|
Последовательный интерфейс связи |
RS232C/RS485 (опционально) |
|
Внешний разъём входа/выхода |
D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6) |
|
Разъём последовательного интерфейса |
6-и пиновый разъём (RJ-11) |
|
Внешний сигнал входа/выхода |
Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1 |
|
Программное обеспечение |
Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8) |
|
Стандартное вспомогательное оборудование |
Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации (со страницами для заметок) |
|
Опциональное оборудование |
QIP (специальная программа для автоизмерений), кабель связи (длинной 5 м, 10 м, 15 м), адаптер питания постоянного тока, RS232C/485 переходник, RS485 ответвительный соединитель и соединительный провод, разъём входа/выхода, USB/RS232C микропереходник, обогревательный кожух, сумка для устройства |
|
Стандарт сертификации |
ЕС |
Применение квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
- Контроль загрязнений (H2O и т.д.) в процессах вакуумного осаждения тонких плёнок
- Для проверки изделий и систем на герметичность