Квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee BGM базовый
Базовая модель квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee BGM - наиболее современный датчик для анализа остаточных газов. Анализатор имеет предельно простой интерфейс. Этот газовый анализатор хорошо подходит для систем управления вакуумными испарителями и вакуумных печей.
• Низкая стоимость относительно других систем для анализа остаточных газов
• Встроенный экран - для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя
• Возможность проведения различных испытаний на герметичность. Проверка герметичности гелием, воздухом и по нарастанию давления
• Измерение общего давления (ионизационный вакуумметр)
• в комплекте прилагается программное обеспечение для управления анализатором остаточных газов Qulee. Оно совместимо с Windows
• Комплект для быстрой установки
• Сертифицирован по стандарту CE, изделие является безопасным для оператора и безвредно для окружающей среды
Технические характеристики квадрупольного масс-спектрометра Ulvac Qulee BGM
Наименование модели |
BGM-101 |
BGM-102 |
BGM-201 |
BGM-202 |
Вид масс-анализатора |
Квадрупольный |
|||
Диапазон анализируемых масс |
1–100 а.е.м. |
1–200 а.е.м. |
||
Разрешающая способность |
M/∆M = 1 M (10% от высоты пика) |
|||
Тип детектора |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель/Коллектор Фарадея |
Коллектор Фарадея |
Электрометрический усилитель/Коллектор Фарадея |
Чувствительность |
10-7 А/Па |
4 А/Па |
10-7 А/Па |
4 А/Па |
1,33×10-5 А/Торр |
533 А/Торр |
1,33×10-5 А/Торр |
533 А/Торр |
|
1×10-5 А/мбар |
400 А/мбар |
1×10-5 А/мбар |
400 А/мбар |
|
Минимальное детектируемое парциальное давление |
10-8 Па |
10-12 Па |
10-8 Па |
10-12 Па |
7,5×10-11 Торр |
7,5×10-15 Торр |
7,5×10-11 Торр |
7,5×10-15 Торр |
|
1×10-10 мбар |
1×10-14 мбар |
1×10-10 мбар |
1×10-14 мбар |
|
Максимальное рабочее давление |
1×10-2 Па |
|||
7,5×10-3 Торр |
||||
1×10-4 мбар |
||||
Нить накала |
IrY2O3, 2 шт. |
|||
Напряжение ионизации |
50 эВ |
|||
Ток эмиссии |
0,5 мА |
|||
Дегазация |
Электронная бомбардировка, 300 В, 5мА |
|||
Функция измерения общего давления |
Присутствует |
|||
Функция одного касания |
Присутствует /He/H2O/N2/O2/другие газы |
|||
Функция проверки на герметичность одним касанием |
Присутствует |
|||
Питание |
Постоянный ток, 24 В ± 10%, 50 Вт |
|||
Масса (анализатор/детектор) |
2,1 кг/0,50 кг |
2,2 кг/0,64 кг |
2,1 кг/0,50 кг |
2,1 кг/0,50 кг |
Максимальная рабочая температура анализатора |
120 °С (248 °Ф) |
|||
Максимальная температура обезгаживания (электроника удалена) |
250 °С (482 °Ф) |
|||
Диапазон рабочих температур |
От 10 до 40 °С (от 50 до 104 °Ф) |
|||
Рабочий диапазон влажности |
От 15 до 80% (без конденсата) |
|||
IP рейтинг |
IP30 (анализатор) |
|||
Разъём питания |
MSTBV2.5/3-GF-5.08 |
|||
Последовательный интерфейс связи |
RS232C/RS485 (опционально) |
|||
Внешний разъём входа/выхода |
D-sub на 15 разъёмов (винт M2.6) |
|||
Разъём последовательного интерфейса |
6-и местный разъём (RJ-11) |
|||
Внешний сигнал входа/выхода |
Аналоговый вход (0–10 В) ×2, внешний вход защиты (защита от давления) ×1, выход заданного значения парциального давления ×2 (ошибка, авария), выход заданного значения общего давления ×1 |
|||
Программное обеспечение |
Qulee QSC вер.3.0 и позже (совместимо с Windows 7/8) |
|||
Стандартное вспомогательное оборудование |
Кабель питания, кабель связи (длина 3м), ПО (установочный диск), инструкция по эксплуатации ( со страницами для заметок) |
|||
Применяемый стандарт |
ЕС |
Применение квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee BGM
- Контроль состава газовой фазы для систем полупроводникового производства, изготовление фотовольтаических панелей (солнечных батарей) и для процессов литографии
- Анализ остаточных газов в процессах вакуумного напыления и осаждения тонких плёнок
- Анализ остаточного газа в составе высоковакуумного насосного оборудования
- Анализ остаточного газа в сублимационной системе сушки
- Анализ различных газов для проведения научных исследований и разработок