Мишени для распыления электронным потоком Ulvac

Мишени для распыления электронным потоком Компания Вактрон предлагает Вам рассмотреть возможность покупки мишеней для распыления электронным потоком, изготавливаемых японской компанией Ulvac.

Мишени изготовлены из материалов высокого качества и чистоты, равномерного состава, высокой плотности и содержат крайне малое количество примесей.

Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.

Специалисты Вактрон могут оказать помощь в установке мишеней в распылительные системы, настройке параметров напыления и контроля технического процесса. Возможно изготовление нагревателей для вакуумных установок специальной конструкции.

Таблица характеристик стандартных материалов мишеней Ulvac

Материал	Чистота (%)	Размер (мм)	Проанализированные примеси
Ti	99.8	d 13×7.5	Fe, C
Ti	99.5	0.5×8×30	Fe, C
Ni	99.9	10×14×20	C, Si, Mn, Fe, Co, P, S
Ni	99.9	10×14×7	C, Si, Mn, Fe, Co, P, S
Mo	99.98	10×12.5×7	Ni, Fe, Cu, C

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (легкие материалы)

Атомный номер

Чистота (%)

Абсолютный удельный вес (г/см3)

Точка испарения (°C)

Форма

Метод нагрева

Целесообразность метода электронного пучка

Примечания

Температура плавления(°C)

Давление

10^-2 Па

Давление

10^-4 Па

Брусок

Гранулы

Стружка

Проволока

Пластинки

Катоды

Тигли

99.0

2.38

*1797

*1548

─

Неподходящий

─

2225

99.9~

99.999

2.25

*2137

*1867

есть

─

есть

─

Неподходящий

─

3827

99.9~

99.99

1.74

*327

*274

есть

─

есть

─

Mo,Ta,W

Mo,C

Alumina

Хороший

─

650

99.0~

99.999

2.70

1010

817

есть

─

есть

BN comp

Aluminia

Composite

Хороший

Хор. смачиваемость, сплавляется с RM

660

99.999~

11N

2.34

1337

1147

есть

─

Zirconia C

Отличный

Реагирует с оксидами

1410

99.8~

99.99

4.50

1453

1235

есть

─

есть

Отличный

Реагирует с W, не реагирует с Ta

1670

99.7

6.10

1547

1332

─

есть

─

Отличный

Сплавляется с W и Ta, не сплавляется с Mo

1902

99.8~

99.998

7.20

*1157

*977

есть

─

есть

(Кат. Cr)

Хороший

─

1875

99.9~

99.99

7.44

647

572

─

есть

─

Mo,Ta,W

Alumina Mo,C

Хороший

Смачивается RM

1244

99.9~

99.99

7.86

1180

998

есть

─

есть

Alumina Magnesia

Отличный

Сплавляется с RW

1536

99.0~

99.99

8.90

1200

990

есть

─

есть

Alumina Magnesia

Отличный

Сплавляется с Mo, Ta, W

1492

99.0~

99.96

8.90

1262

987

есть

─

есть

Alumina Magnesia

Отличный

Сплавляется с Mo, Ta, W

1453

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (тяжелые материалы)

99.9~

99.99

8.96

1017

857

есть

Mo,Ta,W

Mo,BN,C

Alumina

Отличный

Немного смачивается Mo, Ta, W

1083.4

99.999

7.14

250

177

есть

─

Mo,Ta,W

Mo Alumina, C

Отличный

Смачивается RM, не сплавляется

419.5

99.99

5.91

807

747

есть

─

Alumina

Хороший

Реагирует с огнеупорными частями

29.8

99.999

5.32

1167

957

есть

─

есть

Mo,Ta,W,C

Alumina, C

Отличный

Смачивается RM, плохо смачивается с C

937.3

99.9~

99.99

4.79

170.1

127

есть

─

Mo,W

Alumina C

Хороший

Токсичен, хорошо смачивается

217

99.9

4.48

1157

973

есть

─

есть

Ta,W

Alumina Ta

Хороший

─

1502

99.2

6.49

1987

1702

есть

Губки

─

есть

─

Отличный

Немного сплавляется с W

1852

99.9

8.4

2287

1977

есть

─

есть

─

Отличный

Сплавляется с W

2467

99.9~

99.98

10.2

2117

1822

есть

─

есть

─

Отличный

Прямая передача мощности проволоке

2617

99.9

12.44

1707

1472

есть

─

есть

─

Zirconia

Хороший

─

1960

99.95

12.02

1192

997

есть

─

есть

Alumina

Хороший

Сплавляется с RM

1552

99.99~

99.999

10.492

684

617

есть

─

есть

─

Mo,Ta,W

Mo,C

Alumina

Отличный

Смачивается W

961

99.9~

99.999

8.65

180

120

есть

─

Mo,Ta,W

Alumina Ta

Неподходящий

Токсичен

321.03

99.9~

99.999

7.31

742

597

есть

─

есть

Mo,W

Ta,Mo,C

Alumina

Отличный

─

156.6

99.9~

99.9999

7.29

997

807

есть

─

есть

─

Mo,Ta

Ta,C

Alumina

Отличный

Реагирует с Mo

231.91

99.9999

6.62

425

345

есть

─

Mo,Ta

BN,C

Alumina

Неподходящий

Токсичен

631

99.99~

99.9999

6.25

277

207

есть

─

Mo,Ta,W

Mo,C,Ta

Alumina

Неподходящий

Токсичен

449.8

Редкоземельные

99.9

─

есть

─

есть

Alumina

Неподходящий

─

98.0

13.3

3090

2250

Губки

─

Хороший

─

2227

99.9

16.6

2590

2240

есть

─

есть

─

Отличный

Прямая передача мощности проволоке

2998

99.95

19.3

2757

2407

есть

─

есть

─

Хороший

Легко окисляется

3380

─

21.2

2571

2207

есть

─

3160

─

22.5

2380

2080

есть

─

2443

99.95~

99.995

21.45

1747

1492

есть

─

есть

Zirconia

Отличный

Сплавляется с Ta, Nb, Mo

1770

99.99

19.3

1132

947

есть

─

есть

Mo,W

Mo,BN,C,W

Alumina

Отличный

Смачивается W & Mo, сплавляется с Ta

1063

99.9999

11.4

497

427

есть

─

Mo,Ta,W

W,Fe

Alumina

Отличный

Не смачивается RM

327.3

99.9~

99.9999

9.8

231.7

520

410

есть

─

Mo,Ta,W,Ni

Mo,C

Ta,Alumina

Хороший

─

Сокращение RM - это Mo, Ta, W и т.п.

Материалы для осаждения пленок и распыляемые мишени Ulvac помогут Вам подобрать наши специалисты.

Запрос на поставку оборудования / Вопрос по представленному оборудованию

Имя

Пожалуйста, введите Ваше имя.
Сообщение

Пожалуйста, введите Ваше сообщение.
E-mail*

Пожалуста, введите адрес Вашей электронной почты.
Телефон для связи

Пожалуйста, введите номер Вашего телефона.
Организация*

Введите название организации
Подтверждение*

всё верноПоставьте, пожалуйста, галочку в поле "Подтверждение".

Мишени для распыления электронным потоком Ulvac

Таблица характеристик стандартных материалов мишеней Ulvac

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (легкие материалы)

Таблица характеристик мишеней для распыления в вакууме Ulvac (тяжелые материалы)

Курс обучения «Основы течеискания и вакуумной техники» 14 – 16 мая 2024 года