Компактный квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee СGM

Компактная версия квадрупольного масс-анализатора Ulvac Qulee СGM обеспечивает высокую точность и разрешающую способность даже при относительно высоких давлениях (до 1 Па).

• Этот анализатор идеально подходит для контроля состава газовой фазы систем распыления
• Не требуется дифференциальная система откачки
Дифференциальная система откачки не нужна при давлениях от 1 Па (7,5×10-3 Торр, 1×10-2 мбар) или ниже
• Встроенный экран - для управления не нужен компьютер
• Простота включения и управления - принцип "Одного нажатия"
• Возможность высокотемпературного отжига при 120 °С и при 250 °С, при снятом чувствительном элементе
• Функция дегазации электронной бомбардировкой
• Функции защиты ионного источника и вторичного электронного умножителя

Высокочувствительный квадрупольный масс-анализатор Ulvac Qulee HGM

Новый продукт японской компании ULVAC – высокочувствительный газоанализатор Qulee HGM. HGM – это серия анализаторов остаточных газов с революционной простотой использования. Ulvac Qulee HGM обладает чувствительностью для всех моделей 2,5×10-6 А/Па. Qulee HGM позволяет проводить эффективный контроль содержания газов в ходе различных научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и других процессов в вакууме.

• Наиболее подходит для исследовательских лабораторий
Это серия приборов с высокой чувствительностью 2,5×10-6 А/Па (3,3×10-4 А/Торр, 2,5×10-4 А/мбар)
• Простое техническое обслуживание - Нить накала, источник ионов, умножитель вторичных электронов очень легко заменить.

Квадрупольная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302

Безмасляная система анализа технологического газа Ulvac Qulee RGM-202/RGM-302 разработана для технологических применений, таких как травление, химическое осаждение и других газовых процессов в вакууме. Используется уникальный источник ионов и система вакуумных насосов производства японской компании ULVAC, которые позволяют достичь стабильных результатов измерений.

• Разработан для работы в составе систем травления и химического осаждения из газовой фазы
• Закрытый ионный источник с использованием магнитного поля. Мягкая ионизация создаёт меньшую газовую диссоциацию и позволяет обеспечить более высокую чувствительность. В ионизационной камере распад и абсорбция из-за термических реакций сведены к минимуму
• Малое расстояние между технологической камерой и источником ионов позволяет получить быстрый отклик
• Подходит для динамического контроля процессов
• Доступен широкий диапазон рабочих давлений от 1×10-6 до 13 кПа (от 7,5×10-9 до 97,5 Торр, от 1×10-8 до 130 мбар)

Квадрупольный масс-спектрометр Ulvac Qulee с высоковакуумной системой Ulvac YTP

Комбинация высоковакуумного откачного поста Ulvac YTP с квадрупольным масс-спектрометром Ulvac Qulee - комплексная система для измерений, анализа и управления технологическим процессом.

• Низкая стоимость
• Компактная конструкция. Используется стандартная модель откачного поста YTP-50M
• Используется модель масс-спектрометра со встроенным экраном. Обеспечивается визуализация информации без необходимости в ПК
• Простота управления. Для простоты работы присутствуют функции одного нажатия, без сложных процедур настройки.
• Настройка максимального рабочего давления: 500 Па,100 Па, 10 Па и 1 Па (3,75 Торр, 0,75 Торр, 7,5×10-2 Торр, 7,5×10-3 Торр/ 5мбар, 1 мбар, 0,1 мбар и 1×10-2 мбар)
• Комплект дополняется в соответствии с вашими требованиями - диапазон анализируемых масс 1–100 а.е.м (BGM-101/102), 1–200 а.е.м (BGM-201/202), 1–300 а.е.м. (HGM-302)

Программное обеспечение для масс-спектрометров Ulvac Qulee QCS

Ulvac Qulee QCS - это пакет ПО для анализа и контроля газовой среды, созданный японской компанией ULVAC. Qulee QCS подходит для всех квадрупольных газовых спектрометров компании ULVAC. Более старое ПО может быть обновлено до этой версии QCS. Получение и сохранение информации осуществляется просто и понятно.

• QCS - это стандартное ПО для серии устройств анализа остаточных газов Qulee
Подходит для всей серии Qulee (Windows 7,8)
• Простое управление
Интуитивно-понятное управление с использованием кнопок быстрого доступа
• Различные режимы измерения
Режим сканирования, режим тенденции, режим проверки на герметичность, аналоговый режим
• Функция проверки на герметичность
Простая проверка на герметичность путём использования гелия

Аксессуары для масс-спектрометров Ulvac Qulee

К анализаторам остаточных газов серии Qulee компания ULVAC предлагает большое количество дополнительных аксессуаров.

• Система контроля измерений
• Кожух для прогрева
• Кейс для переноски
• Вакуумные откачные системы

Перечень аксессуаров для Ulvac Qulee

Распыляемые мишени Ulvac

Компания Вактрон предлагает материалы в качестве мишеней для осаждения испарением и распылением.

Мишени изготавливаются японской компанией ULVAC и представляют собой изделия:

• высокого качества и чистоты,
• равномерного состава,
• высокой плотности,
• низкой газации.

Возможно изготовление специальных отдельных пластин-мишеней и пластин-держателей.

Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.

Мишени для распыления электронным потоком Ulvac

Компания Вактрон предлагает Вам рассмотреть возможность покупки мишеней для распыления электронным потоком, изготавливаемых японской компанией Ulvac.

Мишени изготовлены из материалов высокого качества и чистоты, равномерного состава, высокой плотности и содержат крайне малое количество примесей.

Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.

Специалисты Вактрон могут оказать помощь в установке мишеней в распылительные системы, настройке параметров напыления и контроля технического процесса. Возможно изготовление нагревателей для вакуумных установок специальной конструкции.

Пеллеты и проволока для осаждения испарением Ulvac

Компания Вактрон предлагает пеллеты и проволоку из чистых материалов Ulvaс для осаждения испарением.

Особо чистые и качественные материалы для вакуумного осаждения ULVAC используются на различных рынках тонкопленочных устройств.

Материалы произведены под строгой системой контроля в чистых условиях, чтобы соответствовать запросам лабораторий.
Помимо указанных, другие различные материалы также доступны для поставки.

Использованные мишени Ulvac компания Вактрон принимает при заказе материалов.